[實用新型]一種鉆石晶體生長裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921543627.6
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN210529107U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 張新峰;王煒
• 申請（專利權）人: 江蘇卓遠半導體有限公司
• 主分類號: C30B29/04
• 分類號: C30B29/04;C30B23/00
• 代理公司: 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 51289
• 代理人: 丁國勇

1.一種鉆石晶體生長裝置，包括隔熱層(1)，其特征在于：所述隔熱層(1)底部的四周均固定安裝有支撐桿(2)，所述隔熱層(1)的底部固定安裝有驅(qū)動電機(3)，所述驅(qū)動電機(3)的輸出軸固定安裝有一端貫穿并延伸至隔熱層(1)內(nèi)部的轉(zhuǎn)桿(4)，所述轉(zhuǎn)桿(4)的頂部固定安裝有石英管爐體(5)，所述石英管爐體(5)的外表面固定安裝有環(huán)形加熱管(6)，所述隔熱層(1)內(nèi)腔底部的左右兩端均固定安裝有滾珠(7)，所述滾珠(7)的頂部與石英管爐體(5)的底部活動連接，所述石英管爐體(5)內(nèi)腔的底部固定安裝有放置架(8)，所述石英管爐體(5)外表面的頂部固定安裝有一端貫穿并延伸至隔熱層(1)內(nèi)壁的穩(wěn)定環(huán)(9)，所述隔熱層(1)頂部的左右兩端均固定安裝有豎桿(10)，兩個所述豎桿(10)相對一側之間的頂部固定安裝有橫桿(11)，所述橫桿(11)的頂部固定安裝有伺服電機(12)，所述伺服電機(12)的輸出軸貫穿并延伸至橫桿(11)的外部且固定安裝有螺桿(13)，所述螺桿(13)的底部貫穿并延伸至石英管爐體(5)的內(nèi)部，所述螺桿(13)的外表面螺紋連接有滑塊(14)，所述滑塊(14)的左右兩端均固定安裝有一端貫穿并延伸至豎桿(10)內(nèi)壁的限位塊(15)，所述限位塊(15)的內(nèi)部固定連接有上下兩端均貫穿并延伸至限位塊(15)外部的通水連接桿(16)，所述通水連接桿(16)的底部固定安裝有位于石英管爐體(5)內(nèi)部的水冷環(huán)(17)，所述通水連接桿(16)的頂部貫穿并延伸至橫桿(11)的外部且與橫桿(11)滑動連接，左側所述通水連接桿(16)的頂部固定安裝有進水口(18)，右側所述通水連接桿(16)的頂部固定安裝有出水口(19)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種鉆石晶體生長裝置，其特征在于：所述螺桿(13)的底部固定安裝有限位環(huán)，且限位環(huán)的直徑小于水冷環(huán)(17)的直徑。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種鉆石晶體生長裝置，其特征在于：所述滑塊(14)的內(nèi)側開設有螺紋槽，所述螺紋槽與螺桿(13)外表面的螺紋相適配。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種鉆石晶體生長裝置，其特征在于：所述支撐桿(2)的底部固定安裝有穩(wěn)定橡膠座，所述隔熱層(1)內(nèi)側的頂部開設有與穩(wěn)定環(huán)(9)相適配的環(huán)形槽。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種鉆石晶體生長裝置，其特征在于：所述隔熱層(1)為真空隔熱層，所述通水連接桿(16)的底部與水冷環(huán)(17)的頂部相連通。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種鉆石晶體生長裝置，其特征在于：兩個所述豎桿(10)相對的一側均開設有限位槽，且限位槽與限位塊(15)相適配。