[實(shí)用新型]一種蝕刻用后液回收系統(tǒng)用過(guò)濾裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921534737.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211435385U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)家彬;周建新;葉保基;戴中輝;鄭健成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣東德同環(huán)保科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01D36/04
• 分類(lèi)號(hào): B01D36/04;C23F1/46
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 曹華

本實(shí)用新型涉及蝕刻用后液回收技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種蝕刻用后液回收系統(tǒng)用過(guò)濾裝置，通過(guò)設(shè)置用于過(guò)濾蝕刻用后液中固體雜質(zhì)的第一過(guò)濾器，第一過(guò)濾器之后連接有能夠回收蝕刻用后液的蝕刻用后液回收系統(tǒng)，使蝕刻用后液在通入蝕刻用后液回收系統(tǒng)之前將蝕刻用后液中的固體雜質(zhì)去除，防止固體雜質(zhì)通入蝕刻用后液回收系統(tǒng)中后對(duì)其中的管路或噴嘴造成堵塞，這種結(jié)構(gòu)的過(guò)濾裝置，解決了蝕刻用后液回收系統(tǒng)中的固體雜質(zhì)容易對(duì)管路或噴嘴造成堵塞；通過(guò)在第一過(guò)濾器之前設(shè)置中轉(zhuǎn)缸，且連接位置為中轉(zhuǎn)缸的下部，在蝕刻用后液通入中轉(zhuǎn)缸之后，蝕刻用后液中的固體雜質(zhì)將沉淀在中轉(zhuǎn)缸底部，便于固體雜質(zhì)進(jìn)入第一過(guò)濾器，增加固體雜質(zhì)的過(guò)濾效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蝕刻用后液回收技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種蝕刻用后液回收系統(tǒng)用過(guò)濾裝置。

背景技術(shù)

蝕刻液在對(duì)原板進(jìn)行蝕刻時(shí)會(huì)產(chǎn)生淤泥狀的固體雜質(zhì)以及銅鹽沉淀。因此，在對(duì)蝕刻用后液進(jìn)行電解回收利用時(shí)，蝕刻用后液也帶有固體雜質(zhì)。

酸性氯化銅蝕刻液被廣泛應(yīng)用于蝕刻板的蝕刻中，該溶液包括HCl，CuCl₂和NaCl成分。含二價(jià)銅離子的蝕刻液在蝕刻后形成含一價(jià)銅離子的溶液，蝕刻用后液的回收利用實(shí)質(zhì)上對(duì)銅的回收利用，即將一價(jià)銅離子氧化成二價(jià)銅離子并進(jìn)行電解生成銅，其氧化過(guò)程中需將高氧化性氣體或溶液通入含一價(jià)銅離子的溶液中，其氧化過(guò)程加電解過(guò)程即回收過(guò)程中，含一價(jià)銅離子溶液與高氧化性氣體或溶液的接觸需要常需要利用管路和噴嘴。

在蝕刻用后液回收系統(tǒng)中，如果不對(duì)固體雜質(zhì)進(jìn)行清除，固體雜質(zhì)長(zhǎng)期積累在管路或噴嘴中會(huì)造成堵塞，對(duì)蝕刻用后液的回收造成影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的蝕刻用后液回收系統(tǒng)中的固體雜質(zhì)容易對(duì)管路或噴嘴造成堵塞的問(wèn)題，以及固體雜質(zhì)提供一種蝕刻用后液回收系統(tǒng)用過(guò)濾裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：

一種蝕刻用后液回收系統(tǒng)用過(guò)濾裝置，包括用于過(guò)濾蝕刻用后液中固體雜質(zhì)的第一過(guò)濾器，所述第一過(guò)濾器之后連接有能夠回收所述蝕刻用后液的蝕刻用后液回收系統(tǒng)；

所述第一過(guò)濾器之前還連接有用于沉淀固體雜質(zhì)以及儲(chǔ)存所述蝕刻用后液的中轉(zhuǎn)缸，所述第一過(guò)濾器連接在所述中轉(zhuǎn)缸的位置為所述中轉(zhuǎn)缸的下部。

通過(guò)設(shè)置用于過(guò)濾蝕刻用后液中固體雜質(zhì)的第一過(guò)濾器，所述第一過(guò)濾器之后連接有能夠回收所述蝕刻用后液的蝕刻用后液回收系統(tǒng)，使所述蝕刻用后液在通入所述蝕刻用后液回收系統(tǒng)之前將蝕刻用后液中的固體雜質(zhì)去除，防止固體雜質(zhì)通入所述蝕刻用后液回收系統(tǒng)中后對(duì)其中的管路或噴嘴造成堵塞，這種結(jié)構(gòu)的過(guò)濾裝置，解決了蝕刻用后液回收系統(tǒng)中的固體雜質(zhì)容易對(duì)管路或噴嘴造成堵塞；單純?cè)O(shè)置的一個(gè)過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾時(shí)過(guò)濾效果不佳，在所述第一過(guò)濾器之前連接有用于沉淀固體雜質(zhì)以及儲(chǔ)存所述蝕刻用后液的中轉(zhuǎn)缸，通過(guò)在第一過(guò)濾器之前設(shè)置中轉(zhuǎn)缸，且連接位置為所述中轉(zhuǎn)缸的下部，在蝕刻用后液通入中轉(zhuǎn)缸之后，蝕刻用后液中的固體雜質(zhì)將沉淀在中轉(zhuǎn)缸底部，固體雜質(zhì)集中設(shè)置在底部，將中轉(zhuǎn)缸的輸出位置設(shè)置在中轉(zhuǎn)缸的下部，便于固體雜質(zhì)進(jìn)入第一過(guò)濾器，增加固體雜質(zhì)的過(guò)濾效果。

其中之前指的是蝕刻用后液在經(jīng)過(guò)過(guò)濾器過(guò)濾的之前。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，在所述中轉(zhuǎn)缸上用于輸入所述蝕刻用后液的輸入口設(shè)置在所述中轉(zhuǎn)缸的上部。

設(shè)置將蝕刻用后液設(shè)置在所述中轉(zhuǎn)缸的輸入口設(shè)置在中轉(zhuǎn)缸的上部，與第一過(guò)濾器和中轉(zhuǎn)缸的連接位置相錯(cuò)開(kāi)，防止兩者形成對(duì)流，便于固體雜質(zhì)沉淀。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述第一過(guò)濾器和蝕刻用后液回收系統(tǒng)之間還連接有儲(chǔ)液罐。

通過(guò)設(shè)置的儲(chǔ)液罐能夠?qū)^(guò)濾后的蝕刻用后液進(jìn)行儲(chǔ)存，在需要使用蝕刻用后液時(shí)，無(wú)需開(kāi)啟第一過(guò)濾器對(duì)蝕刻用后液進(jìn)行過(guò)濾工作。