[實用新型]一種蝕刻用后液回收系統用過濾裝置有效
| 申請號： | 201921534737.6 | 申請日： | 2019-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN211435385U | 公開（公告）日： | 2020-09-08 |
| 發明（設計）人： | 關家彬;周建新;葉保基;戴中輝;鄭健成 | 申請（專利權）人： | 廣東德同環保科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D36/04 | 分類號： | B01D36/04;C23F1/46 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 曹華 |
| 地址： | 528000 廣東省佛山市南海區九*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 蝕刻 用后液 回收 系統 過濾 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，包括用于過濾蝕刻用后液（1）中固體雜質的第一過濾器（2），所述第一過濾器（2）之后連接有能夠回收所述蝕刻用后液（1）的蝕刻用后液回收系統；
所述第一過濾器（2）之前還連接有用于沉淀固體雜質以及儲存所述蝕刻用后液（1）的中轉缸（3），所述第一過濾器（2）連接在所述中轉缸（3）的位置為所述中轉缸（3）的下部。
2.根據權利要求1所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，在所述中轉缸（3）上用于輸入所述蝕刻用后液（1）的輸入口設置在所述中轉缸（3）的上部。
3.根據權利要求2所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾器（2）和蝕刻用后液回收系統之間還連接有儲液罐（4）。
4.根據權利要求1-3任一所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾器（2）包括碳處理器。
5.根據權利要求4所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，所述中轉缸（3）之前還設置有第二過濾器（5）。
6.根據權利要求5所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，所述第二過濾器（5）包括碳處理器。
7.根據權利要求4所述的蝕刻用后液回收系統用過濾裝置，其特征在于，所述中轉缸（3）和儲液罐（4）外包裹有保暖層。
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