[實用新型]一種具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備

有效

• 申請號: 201921534574.1
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN210956591U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 王全;楊其峰;鄒有彪;倪俠;徐玉豹;沈春福;王超
• 申請（專利權）人: 富芯微電子有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/8224;H01L27/082;H01L29/423
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160
• 代理人: 韓立峰

1.一種具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備，用于IGBT芯片原料晶圓基片的限位放置與刻蝕，其特征在于，包括刻蝕設備本體(1)，設置在刻蝕設備本體(1)下方的反應器(2)，反應器(2)內具有反應腔體(3)，反應腔體(3)內設置有內襯(4)、晶圓固定座(5)；內襯(4)卡合在反應腔體(3)內部的側壁(6)內；反應腔體(3)的底部設有漏斗狀的清潔通道(7)，清潔通道(7)與渦輪泵連接；

所述內襯(4)包括一筒體(41)和與筒體(41)一體成型的內襯底盤(42)，內襯底盤(42)呈圓環狀，包括一中空內圓環(43)與外側圓環(44)，中空內圓環(43)內設有放置板(45)，中空內圓環(43)與外側圓環(44)之間的區域內環形陣列分布有弧狀板(46)，相鄰的弧狀板(46)之間具有容聚合物下落的間隙(47)；

所述晶圓固定座(5)包括固定座本體(51)，固定座本體(51)的底部設有長條狀安裝板(52)，長條狀安裝板(52)與放置板(45)適配；固定座本體(51)的側壁具有側擋板(53)，頂部設有晶圓放置腔(54)，晶圓放置腔(54)內平行設有若干個螺紋孔(55)；螺紋孔(55)螺紋連接有限位座(8)；限位座(8)包括設于上方的限位座本體(81)和下方的螺桿(82)，螺桿(82)與螺紋孔(55)適配。

2.根據權利要求1所述的具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備，其特征在于，所述反應腔體(3)的內壁底部設有吹掃箱(9)，吹掃箱(9)內設有吹掃機構。

3.根據權利要求2所述的具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備，其特征在于，所述吹掃機構包括：吹風機(10)、吹風口(11)、防粘附板(12)，吹風機(10)設于吹掃箱(9)的內部，若干個防粘附板(12)設置在吹掃箱(9)靠近清潔通道(7)的壁部，防粘附板(12)朝清潔通道(7)的中軸線傾斜向下設置；吹風口(11)設置在吹掃箱(9)的內壁且位于相鄰的防粘附板(12)之間。

4.根據權利要求1所述的具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備，其特征在于，所述弧狀板(46)包括長邊(461)、短邊(462)、弧狀邊(463)，長邊(461)的長度大于短邊(462)的長度，弧狀邊(463)的兩端分別與長邊(461)和短邊(462)連接，弧狀邊(463)從長邊(461)側向短邊(462)側傾斜向下設置。

5.根據權利要求1所述的具有復合柵結構的IGBT芯片的加工設備，其特征在于，所述限位座本體(81)呈正方體狀，且其四個側壁部均設有限位結構，限位結構由第一弧形限位(83)、水平邊(85)、第二弧形限位(84)圍合而成。