[實用新型]一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921507313.0
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN210979351U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，包括：箱體、控制顯示操作單元、工藝氣體供應(yīng)單元、吹掃單元、Pigtail單元、報警單元、條碼掃描槍和本地緊急停止按鈕。其中，工藝氣體供應(yīng)單元包括：緊急關(guān)斷閥、高壓氣動隔離閥、低壓氣動隔離閥、氣動吹掃隔離閥、高壓氣體排放閥、低壓氣體排放閥、壓力傳感器、調(diào)壓閥、過濾系統(tǒng)、隔離閥、工藝氣體出口閥、真空隔離閥、真空發(fā)生器和工作管路。本實用新型與傳統(tǒng)技術(shù)相比，實現(xiàn)箱體吹掃流程的全自動化；新增排風檢測、過流量保護開關(guān)、真空發(fā)生器、氣體泄漏傳感器、消防噴淋等設(shè)施來保證設(shè)備正常運轉(zhuǎn)及異常情況下能即時發(fā)出報警信息，切斷氣源，提高系統(tǒng)安全性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及特殊氣體輸送技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

由于全球電子、光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，及我國政府大力提倡科技興國，國內(nèi)半導(dǎo)體、光伏制造業(yè)發(fā)展迅猛。據(jù)2006年中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研究報告指出：“2006年底，中國國內(nèi)有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC 裝配廠，450家IC設(shè)計公司。2006年中國國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測450億元，晶圓制造242億元，IC 設(shè)計215億元。中國國內(nèi)半導(dǎo)體市場的規(guī)模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?！惫夥a(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。

而在半導(dǎo)體、光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)常用的制程中需要使用帶許多特殊氣體，其中一些有毒、腐蝕、可燃的氣體危害性相當高，一旦這些氣體供應(yīng)系統(tǒng)發(fā)生閥件適當損壞(如受腐蝕或人為操作失誤等因素)造成氣體泄漏，將威脅到人員生命安全、設(shè)備損失及生產(chǎn)中斷，其危害性是讓我們必須特別重視且不可小看的。其中特殊氣體分配箱在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中使用非常廣泛。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的初期曾發(fā)生不少的事故。數(shù)據(jù)顯示，特殊氣體分配箱意外事故常造成事業(yè)單位財產(chǎn)損失、環(huán)境污染、人員傷亡、爆炸及死亡問題。而造成意外事故的主要原因為人為失誤。國內(nèi)半導(dǎo)體廠都采用各種管理及危害分析方法來達到風險的適當控制，但在人員手動控制的狀態(tài)下，仍然無法降低風險性。

特殊氣體輸送集裝格供應(yīng)系統(tǒng)主要用在半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)中為工藝機臺連續(xù)配送工藝氣體。因工藝一般為鋼瓶包裝，在工廠運轉(zhuǎn)過程中須不斷更換新的氣體鋼瓶，拆除在線的用空的氣體鋼瓶，我們稱之為鋼瓶更換流程。在鋼瓶更換過程中為保證有毒有害氣體不外漏威脅到人身安全，拆除用空的鋼瓶前，須用高純氮氣置換與鋼瓶相連的管線內(nèi)的有毒有害氣體，這在鋼瓶更換流程稱之為換瓶前吹。為確保有毒有害氣體能置換干凈，須重復(fù)開關(guān)排空閥和吹掃閥60次以上。當空鋼瓶拆除換裝上新的鋼瓶后須對新裝好的鋼瓶接口做泄漏測試。對泄漏測試通過的鋼瓶我們要做換瓶后吹掃，以清除換瓶過程中有可能帶入氣體管線的空氣、水分和微小的顆粒。這個過程須連續(xù)持續(xù)3至4小時。

這在目前和以前的一些老的手動、半自動特殊氣體供應(yīng)柜的操作中都須人工來完成。因此帶來諸多不合理因素：1、操作員機械連續(xù)重復(fù)同一個動作，誤操作幾率高。2、操作員在整個操作過程中因需要手動開關(guān)閥門，直接面對輸送有毒有害氣體設(shè)備時間長，人員安全風險大。3、手動、半自動特殊氣體輸送柜在有氣體泄漏、火災(zāi)報警等緊急情況是無法自動關(guān)閉閥門，切斷氣源來減少危害。

為了解決上述問題，我們做出了一系列改進。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于，提供一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，以克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述缺點和不足。

一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，包括：箱體、控制顯示操作單元、工藝氣體供應(yīng)單元、吹掃單元、Pigtail單元、報警單元、條碼掃描槍和本地緊急停止按鈕，所述控制顯示操作單元與箱體連接，所述工藝氣體供應(yīng)單元與箱體內(nèi)部連接，所述吹掃單元與工藝氣體供應(yīng)單元連接，所述Pigtail單元設(shè)于箱體內(nèi)，所述Pigtail單元與工藝氣體供應(yīng)單元連接，所述報警單元與箱體和控制顯示操作單元連接，所述條碼掃描槍與箱體表面連接，所述本地緊急停止按鈕與箱體表面連接，所述本地緊急停止按鈕與條碼掃描槍連接；