[實(shí)用新型]一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921507313.0
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN210979351U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02
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• 代理人: 暫無信息

1.一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括：箱體(100)、控制顯示操作單元(200)、工藝氣體供應(yīng)單元(300)、吹掃單元(400)、Pigtail單元(500)、報(bào)警單元(600)、條碼掃描槍(700)和本地緊急停止按鈕(800)，所述控制顯示操作單元(200)與箱體(100)連接，所述工藝氣體供應(yīng)單元(300)與箱體(100)內(nèi)部連接，所述吹掃單元(400)與工藝氣體供應(yīng)單元(300)連接，所述Pigtail單元(500)設(shè)于箱體(100)內(nèi)，所述Pigtail單元(500)與工藝氣體供應(yīng)單元(300)連接，所述報(bào)警單元(600)與箱體(100)和控制顯示操作單元(200)連接，所述條碼掃描槍(700)與箱體(100)表面連接，所述本地緊急停止按鈕(800)與箱體(100)表面連接，所述本地緊急停止按鈕(800)與條碼掃描槍(700)連接；

其中，所述工藝氣體供應(yīng)單元(300)包括：緊急關(guān)斷閥(310)、高壓氣動隔離閥(320)、低壓氣動隔離閥(330)、氣動吹掃隔離閥(340)、高壓氣體排放閥(350)、低壓氣體排放閥(360)、壓力傳感器(370)、調(diào)壓閥(380)、過濾系統(tǒng)(390)、隔離閥(3100)、工藝氣體出口閥(3200)、真空隔離閥(3300)、真空發(fā)生器(3400)和工作管路(3500)，所述緊急關(guān)斷閥(310)前端通過工作管路(3500)與鋼瓶(1000)連接，所述緊急關(guān)斷閥(310)后端與高壓氣動隔離閥(320)連接，所述緊急關(guān)斷閥(310)和高壓氣動隔離閥(320)中間設(shè)有壓力傳感器(370)，所述高壓氣動隔離閥(320)后端與調(diào)壓閥(380)連接，所述高壓氣動隔離閥(320)前端與高壓氣體排放閥(350)連接，所述低壓氣動隔離閥(330)前端通過工作管路(3500)與調(diào)壓閥(380)連接，所述低壓氣動隔離閥(330)和調(diào)壓閥(380)中間設(shè)有壓力傳感器(370)，所述過濾系統(tǒng)(390)與低壓氣動隔離閥(330)連接，所述低壓氣體排放閥(360)與低壓氣動隔離閥(330)和調(diào)壓閥(380)中間的工作管路(3500)連接，所述隔離閥(3100)前端與過濾系統(tǒng)(390)連接，所述隔離閥(3100)后端與工藝氣體出口閥(3200)連接，所述工藝氣體出口閥(3200)通過工作管路(3500)與箱體(100)連接，所述真空隔離閥(3300)前端與工作管路(3500)連接，所述真空隔離閥(3300)后端與真空發(fā)生器(3400)連接，所述真空發(fā)生器(3400)后端通過工作管路(3500)與箱體(100)連接，所述緊急關(guān)斷閥(310)、高壓氣動隔離閥(320)、低壓氣動隔離閥(330)、氣動吹掃隔離閥(340)、高壓氣體排放閥(350)、低壓氣體排放閥(360)、隔離閥(3100)、真空隔離閥(3300)和真空發(fā)生器(3400)與控制顯示操作單元(200)連接，所述高壓氣動隔離閥(320)和低壓氣動隔離閥(330)為三通閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述箱體(100)上設(shè)有第一密閉門(110)、第二密閉門(120)、第一觀察窗(130)和第二觀察窗(140)，所述第一密閉門(110)和第二密閉門(120)與箱體(100)前側(cè)連接，所述第一觀察窗(130)與第一密閉門(110)連接，所述第二觀察窗(140)與第二密閉門(120)連接，所述第一觀察窗(130)和第二觀察窗(140)為防爆玻璃窗。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于特殊氣體輸送的集裝格供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述工作管路(3500)包括：第一管路(3510)、第二管路(3520)、第三管路(3530)、第四管路(3540)和第五管路(3550)，所述第一管路(3510)與緊急關(guān)斷閥(310)、壓力傳感器(370)和鋼瓶(1000)連接，所述第二管路(3520)與過濾系統(tǒng)(390)連接，所述第三管路(3530)與低壓氣動隔離閥(330)、低壓氣體排放閥(360)、壓力傳感器(370)、調(diào)壓閥(380)和過濾系統(tǒng)(390)連接，所述第四管路(3540)與高壓氣體排放閥(350)、低壓氣體排放閥(360)和真空隔離閥(3300)連接，所述第五管路(3550)與吹掃單元(400)連接。