[實用新型]一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架

有效

• 申請號: 201921505848.4
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN211640553U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 王曉飛;郭愛林;馬文宏
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;B24B57/02;B24B41/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

本實用新型提供了一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，包括卡槽機構、架體機構和弧形卡具，卡槽機構包括固定板、T形板和固定螺栓，固定板上設有與固定螺栓相匹配的固定通孔，固定板還通過固定螺栓連接于多線切割機的外基座處，T型板的下端面還連接于固定板的頂部，T形板還連接架體機構；架體機構包括連接板、限位板和橫桿，連接板的兩端還分別連接限位板和橫桿，連接板和橫桿均沿水平方向設置，限位板設置為兩個，兩個限位板分別沿豎直方向連接于連接板的兩側，兩個限位板之間還預留供T形板豎直板通過的限位間隙，橫桿還連接夾持砂漿管的弧形卡具。本實用新型解決了原有安裝方式下砂漿管不能水平放置的現象，保證設備長效運行。

技術領域

本實用新型屬于硅晶圓技術領域，具體涉及一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架。

背景技術

多線切割技術是硅晶圓加工的一種新型切割加工方法，它的工作原理是在加工期間，高速旋轉導線利用壓力對硅體進行加工，并且將砂漿噴灑在切割區域，讓碳化硅微粉漂浮在鋼線之上，在鋼線高速運作時，利用碳化硅磨削顆粒來切開硅體，從而達到切片、切方、切斷等的工藝要求。多線切割技術所用的多線切割機通過金屬線纏繞在滾筒上，組成線網，金屬線通過導輪系統的帶動，高速往復運動，把配置好的砂液通過砂漿管均勻帶入加工區域對硅晶圓進行研磨切斷，將晶棒一次同時切割成數百片厚度比較一致的薄片。但在多線切割的過程中，發現砂漿管的固定方式是單邊固定，頻繁拆卸安裝后，造成固定不牢固，砂漿管不能水平放置，多次造成設備接地報警，線網斷線等問題，影響產品質量。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，結構簡單，安裝方便，解決了原有安裝方式下砂漿管不能水平放置的現象，保證設備長效運行，提高產品質量。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，固定于多線切割機的內側，其特征在于：包括卡槽機構、架體機構和弧形卡具，所述卡槽機構包括固定板、T形板和固定螺栓，所述固定板上設有與固定螺栓相匹配的固定通孔，所述固定板還通過固定螺栓連接于多線切割機的外基座處，所述T型板的下端面還連接于所述固定板的頂部，所述T形板還連接所述架體機構；所述架體機構包括連接板、限位板和橫桿，所述連接板的兩端還分別連接限位板和橫桿，所述連接板和橫桿均沿水平方向設置，所述限位板設置為兩個，兩個限位板分別沿豎直方向連接于連接板的兩側，兩個限位板之間還預留供T形板豎直板通過的限位間隙，所述橫桿還連接夾持砂漿管的弧形卡具。

進一步的，所述連接板包括第一連接板、第二連接板和第三連接板，所述第一連接板和所述第三連接板均沿水平方向設置，所述第二連接板沿豎直方向設置，所述第二連接板的兩端還分別連接所述第一連接板和所述第三連接板，所述第一連接板和所述第三連接板還分別設置于第二連接板的兩側。

進一步的，所述第一連接板和所述第三連接板分別連接所述限位板和所述橫桿，所述限位板和所述橫桿還分別垂直于所述第一連接板和所述第三連接板。

進一步的，所述限位板和所述第二連接板之間設有供T形板橫桿通過的安裝間隙。

進一步的，所述弧形卡具與所述橫桿之間還設有沿水平方向設置的安裝板，所述弧形卡具與砂漿管的外管壁相匹配。

本實用新型的有益效果為：本實用新型的一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，包括卡槽機構、架體機構和弧形卡具，卡槽機構固定于多線切割機的外基座內側，具體還固定在多線切割機上砂漿管的非固定基座上，架體機構通過限位板和連接板以插入的方式連接于卡槽機構的T形板上，架體機構上設有與砂漿管相匹配的弧形卡具，使砂漿管的非固定端能夠在弧形卡具的固定作用下搭設于架體機構的橫桿上，進而使砂漿管固定架對砂漿管的非固定端起到支撐的作用，避免砂漿管的單邊固定，同時還避免了砂漿管在頻繁拆卸安裝后，造成固定不牢固，砂漿管不能水平放置，從而造成的設備接地報警，線網斷線等問題，影響產品質量。

附圖說明