[實用新型]一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架

有效

• 申請號: 201921505848.4
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN211640553U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 王曉飛;郭愛林;馬文宏
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;B24B57/02;B24B41/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

1.一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，固定于多線切割機外基座的內側，其特征在于：包括卡槽機構、架體機構和弧形卡具，所述卡槽機構包括固定板、T形板和固定螺栓，所述固定板上設有與固定螺栓相匹配的固定通孔，所述固定板還通過固定螺栓連接于多線切割機的外基座處，所述T形板的下端面還連接于所述固定板的頂部，所述T形板還連接所述架體機構；

所述架體機構包括連接板、限位板和橫桿，所述連接板的兩端還分別連接限位板和橫桿，所述連接板和橫桿均沿水平方向設置，所述限位板設置為兩個，兩個限位板分別沿豎直方向連接于連接板的兩側，兩個限位板之間還預留供T形板豎直板通過的限位間隙，所述橫桿還連接夾持砂漿管的弧形卡具。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，其特征在于：所述連接板包括第一連接板、第二連接板和第三連接板，所述第一連接板和所述第三連接板均沿水平方向設置，所述第二連接板沿豎直方向設置，所述第二連接板的兩端還分別連接所述第一連接板和所述第三連接板，所述第一連接板和所述第三連接板還分別設置于第二連接板的兩側。

3.根據權利要求2所述的一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，其特征在于：所述第一連接板和所述第三連接板分別連接所述限位板和所述橫桿，所述限位板和所述橫桿還分別垂直于所述第一連接板和所述第三連接板。

4.根據權利要求2或3所述的一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，其特征在于：所述限位板和所述第二連接板之間設有供T形板橫桿通過的安裝間隙。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅晶圓多線切割的砂漿管固定架，其特征在于：所述弧形卡具與所述橫桿之間還設有沿水平方向設置的安裝板，所述弧形卡具與砂漿管的外管壁相匹配。