[實(shí)用新型]一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921505838.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-09-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN211279242U | 公開（公告）日： | 2020-08-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王曉飛;代玉超;董開紀(jì) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 麥斯克電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B28D5/04 | 分類號(hào)： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 羅民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 晶片 加工 電機(jī) 安裝 平臺(tái) | ||
1.一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：包括支撐機(jī)構(gòu)、滾柱和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括滾道平臺(tái)和與滾道平臺(tái)相連接的支撐柱，所述滾道平臺(tái)沿水平方向設(shè)置，滾道平臺(tái)上還預(yù)留多個(gè)安裝軌道，所述安裝軌道還互相平行，所述滾柱設(shè)置于所述安裝軌道內(nèi)，所述滾柱為圓柱體形，所述滾道平臺(tái)還連接多個(gè)支撐柱；支撐柱的一端連接安裝平臺(tái)的底面，支撐柱的另一端還預(yù)留安裝槽，多個(gè)支撐柱還分別通過安裝槽連接于所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括螺紋槽和與螺紋槽相匹配的地腳螺栓，所述螺紋槽固定于所述安裝槽的內(nèi)部，所述地腳螺栓還通過地腳螺栓的螺紋端連接于所述螺紋槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：所述滾道平臺(tái)為矩形板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：所述安裝軌道為半圓柱形凹槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：所述支撐柱設(shè)置為4個(gè)以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：所述支撐柱還包括第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于設(shè)備外部地面，所述第二支撐柱通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于設(shè)備內(nèi)部底，所述第一支撐柱和所述第二支撐柱均設(shè)置為2個(gè)，第一支撐柱之間的連線和第二支撐柱之間的連線均與安裝軌道相平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：所述地腳螺栓為平頭螺栓。
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