[實(shí)用新型]一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921505838.0
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號(hào): CN211279242U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王曉飛;代玉超;董開紀(jì)
• 申請（專利權(quán)）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

本實(shí)用新型提供了一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，包括支撐機(jī)構(gòu)、滾柱和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，支撐機(jī)構(gòu)包括滾道平臺(tái)和與滾道平臺(tái)相連接的支撐柱，滾道平臺(tái)沿水平方向設(shè)置，滾道平臺(tái)上還預(yù)留多個(gè)安裝軌道，安裝軌道還互相平行，滾柱設(shè)置于安裝軌道內(nèi)，滾柱為圓柱體形，滾道平臺(tái)還連接多個(gè)支撐柱；支撐柱的一端連接安裝平臺(tái)的底面，支撐柱的另一端還預(yù)留安裝槽，多個(gè)支撐柱還分別通過安裝槽連接于調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括螺紋槽和與螺紋槽相匹配的地腳螺栓，螺紋槽固定于安裝槽的內(nèi)部，地腳螺栓還通過地腳螺栓的螺紋端連接于螺紋槽。本實(shí)用新型提高了硅圓晶片加工過程中電極安裝的安全性和便捷性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅圓晶生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)。

背景技術(shù)

多線切割技術(shù)是硅晶圓加工的一種新型切割加工方法，它的工作原理是通過金屬線纏繞在滾筒上，組成線網(wǎng)，金屬線通過導(dǎo)輪系統(tǒng)的帶動(dòng)，高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把刃料帶入加工區(qū)域?qū)杈A進(jìn)行研磨，將晶棒一次的，同時(shí)的切割成數(shù)百片厚度比較一致的薄片。

常用的多線切割機(jī)，如NTC442DM，機(jī)型結(jié)構(gòu)緊湊，工作空間狹小。在實(shí)際操作中，因?yàn)镹TC442DM的工作區(qū)非常狹窄，線輪電機(jī)本體體積大又非常重，所在電機(jī)固定區(qū)域沒有吊裝空間，遇到故障時(shí)無法快速拆卸及維修，并且在操作過程中還具有安全隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，提高了硅圓晶片加工過程中電極安裝的安全性和便捷性。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：

一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，其特征在于：包括支撐機(jī)構(gòu)、滾柱和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括滾道平臺(tái)和與滾道平臺(tái)相連接的支撐柱，所述滾道平臺(tái)沿水平方向設(shè)置，滾道平臺(tái)上還預(yù)留多個(gè)安裝軌道，所述安裝軌道還互相平行，所述滾柱設(shè)置于所述安裝軌道內(nèi)，所述滾柱為圓柱體形，所述滾道平臺(tái)還連接多個(gè)支撐柱；支撐柱的一端連接安裝平臺(tái)的底面，支撐柱的另一端還預(yù)留安裝槽，多個(gè)支撐柱還分別通過安裝槽連接于所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括螺紋槽和與螺紋槽相匹配的地腳螺栓，所述螺紋槽固定于所述安裝槽的內(nèi)部，所述地腳螺栓還通過地腳螺栓的螺紋端連接于所述螺紋槽。

進(jìn)一步的，所述滾道平臺(tái)為矩形板。

進(jìn)一步的，所述安裝軌道為半圓柱形凹槽。

進(jìn)一步的，所述支撐柱設(shè)置為4個(gè)以上。

進(jìn)一步的，所述支撐柱還包括第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于設(shè)備外部地面，所述第二支撐柱通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于設(shè)備內(nèi)部底，所述第一支撐柱和所述第二支撐柱均設(shè)置為2個(gè)，第一支撐柱之間的連線和第二支撐柱之間的連線均與安裝軌道相平行。

進(jìn)一步的，所述地腳螺栓為平頭螺栓。

本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型的一種用于硅圓晶片加工的電機(jī)安裝平臺(tái)，根據(jù)設(shè)備內(nèi)部電機(jī)固定平臺(tái)，與設(shè)備外現(xiàn)場地平面的高度差，設(shè)計(jì)一個(gè)可調(diào)節(jié)高低的不等高支撐腿的滾道平臺(tái)，第二支撐柱為低支撐腿，放在設(shè)備內(nèi)部底面，第一支撐柱為高支撐腿，放在設(shè)備外部地面。另外還通過調(diào)節(jié)支撐柱下方的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使整個(gè)安裝平臺(tái)平面與設(shè)備內(nèi)部電機(jī)固定平臺(tái)水平，實(shí)現(xiàn)電機(jī)在安裝及拆卸過程中的便捷性及安全性。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型與金剛線切片機(jī)的配合圖；

圖3為支撐柱與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的配合圖。

其中，圖中各標(biāo)號(hào)為：1、滾道平臺(tái)，2、安裝軌道，3、滾柱，4、支撐柱，401、第一支撐柱，402、第二支撐柱，5、安裝槽，6、螺紋槽，7、地腳螺栓，8、電機(jī)，9、電機(jī)固定平臺(tái)，10、切片機(jī)內(nèi)部底面，11、地面。

具體實(shí)施方式