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[實(shí)用新型]一種酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201921498366.0 申請(qǐng)日: 2019-09-10
公開(kāi)(公告)號(hào): CN210657139U 公開(kāi)(公告)日: 2020-06-02
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳仁華;聶國(guó)勇;李建立 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 長(zhǎng)沙利潔環(huán)保科技有限公司
主分類號(hào): C23F1/46 分類號(hào): C23F1/46;C23F1/18;B01D53/78;B01D53/68
代理公司: 長(zhǎng)沙優(yōu)企知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43243 代理人: 劉佳芳
地址: 410000 湖南省長(zhǎng)沙市*** 國(guó)省代碼: 湖南;43
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 酸性 蝕刻 循環(huán) 再生 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,包括電解槽(3),其特征在于,還包括循環(huán)槽(1)、氯氣吸收回用塔(4);所述電解槽(3)內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極區(qū)(31)和陰極區(qū)(32);所述循環(huán)槽(1)包括槽體,所述槽體的底部通過(guò)隔板分割為陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)、蝕刻循環(huán)區(qū)(12)和陰極循環(huán)區(qū)(13),蝕刻循環(huán)區(qū)(12)和陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)頂部相通;所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)(31)分別與循環(huán)槽的陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)和蝕刻循環(huán)區(qū)(12)連通;所述電解槽的陰極區(qū)(32)與陰極循環(huán)區(qū)(13)相互連通;所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)(31)和陰極區(qū)(32)以及所述循環(huán)槽(1)的蝕刻循環(huán)區(qū)(12)與氯氣吸收回用塔(4)連通;所述氯氣吸收回用塔(4)與循環(huán)槽(1)的陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征是,所述循環(huán)槽(1)頂部設(shè)有至少一個(gè)排氣管,所述陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)、蝕刻循環(huán)區(qū)(12)和陰極循環(huán)區(qū)(13)的側(cè)壁上分別設(shè)有多個(gè)進(jìn)液管和出液管,用于與外部設(shè)備循環(huán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征是,所述陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)、蝕刻循環(huán)區(qū)(12)和陰極循環(huán)區(qū)(13)內(nèi)分別設(shè)有液位控制器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征在于,還包括母液儲(chǔ)備桶(5),母液儲(chǔ)備桶(5)與陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)、蝕刻循環(huán)區(qū)(12)和陰極循環(huán)區(qū)(13)連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征在于,還包括再生液儲(chǔ)備桶(6),再生液儲(chǔ)備桶(6)與陽(yáng)極循環(huán)區(qū)(11)和陰極循環(huán)區(qū)(13)連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征在于,電解槽(3)內(nèi)設(shè)有多個(gè)陽(yáng)極區(qū)(31)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液循環(huán)再生裝置,其特征在于,所述電解槽的陰極區(qū)(32)之后還依次連接有清洗槽(9)和抗氧化槽(10)。

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