[實用新型]一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件

有效

• 申請號: 201921492924.2
• 申請日: 2019-09-09
• 公開（公告）號: CN210690870U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 呂晶;嚴浪;劉晶
• 申請（專利權）人: 杭州麥樂克科技股份有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20
• 代理公司: 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 33289
• 代理人: 姚宇吉

本實用新型公開一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件，包括基板、第一鍍膜層和第二鍍膜層，其中基板設于第一鍍膜層和第二鍍膜層之間，其中第一鍍膜層包括12組交替設置的Ge層和ZnS層，第二鍍膜層包括13組交替設置的Ge層和ZnS層。本實用新型所設計的一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件的性能參數最佳可達到：5％Cut on＝6750±50nm，6900～14000nm，Tavg≥86％，7000～14000nm，Tavg≥84％，3200～6500nm，Tavg≤3％。

技術領域

本實用新型涉及紅外濾光敏感元件領域，尤其是一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件。

背景技術

紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)是通過非接觸探測紅外能量(熱量)，并將其轉換為電信號，進而在顯示器上生成熱圖像和溫度值，并可以對溫度值進行計算的一種檢測設備。紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)能夠將探測到的熱量精確量化或測量，使您不僅能夠觀察熱圖像，還能夠對發熱的故障區域進行準確識別和嚴格分析。

紅外熱成像儀的探測器是實現紅外能量(熱能)轉換電信號的關鍵，由于各種生物所發出來的紅外能量(熱能)是不同的，所以在日常使用中為了觀察某種特定生物的熱圖像，人們往往會在探測器中添加紅外濾光片，通過紅外濾光片可以使探測器只接受特定波段的紅外能量(熱能)，保證紅外熱成像儀的成像結果。

但是，目前的紅外濾光敏感元件，其信噪比低，精度差，不能滿足市場發展的需要。為解決該技術問題，現有技術公開了一種6000nm長波通紅外濾光敏感元件(CN104597538A)，該濾光敏感元件5％Cut on＝6000±300nm，7500～13500nm，Tavg≥70％，400～5500nm，Tavg≤0.1％，T≤3.0％；還公開一種7600nm長波通紅外濾光敏感元件(CN104597543A)，該濾光敏感元件50％Cut on＝7600±50nm，7700～11000nm，Tavg≥90％，8000～11000nm，T≥88％，1500～7400nm，T≤3％；均不適用于6750nm長波通紅外濾光的情況，故需要對現有技術做進一步改進。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術中的缺點，提供了一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件。

為了解決上述技術問題，本實用新型通過下述技術方案得以解決：

一種6750nm長波通紅外濾光敏感元件，包括基板、第一鍍膜層和第二鍍膜層，其中基板設于第一鍍膜層和第二鍍膜層之間，其特征在于：

所述基板為Ge基板；

所述第一鍍膜層由內向外依次排列包含有322～342nm厚度的Ge層、273～293nm厚度的ZnS層、236～256nm厚度的Ge層、403～423nm厚度的ZnS層、137～157nm厚度的Ge層、474～494nm厚度的ZnS層、227～247nm厚度的Ge層、458～478nm厚度的ZnS層、237～257nm厚度的Ge層、341～361nm厚度的ZnS層、163～183nm厚度的Ge層、523～543nm厚度的ZnS層、224～244nm厚度的Ge層、564～584nm厚度的ZnS層、364～384nm厚度的Ge層、447～467nm厚度的ZnS層、309～329nm厚度的Ge層、783～803nm厚度的ZnS層、182～202nm厚度的Ge層、671～691nm厚度的ZnS層、432～452nm厚度的Ge層、237～257nm厚度的ZnS層、421～441nm厚度的Ge層、1178～1198nm厚度的ZnS層；