[實用新型]一種兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥及傳送裝置有效
| 申請號: | 201921491384.6 | 申請日: | 2019-09-09 |
| 公開(公告)號: | CN210296328U | 公開(公告)日: | 2020-04-10 |
| 發明(設計)人: | 左國軍;劉洪勇 | 申請(專利權)人: | 常州捷佳創精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人: | 朱建霞 |
| 地址: | 213000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 兼容 多種 尺寸 硅片 導向 傳動 傳送 裝置 | ||
本實用新型公開了一種兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥,包括:轉動運送硅片的傳動輥、安裝在所述傳動輥上用于支撐所述硅片的調節機構,所述調節機構可沿著所述傳動輥的軸向方向來回移動,且寬度可調節。本實用新型提出的兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥,在導向傳動輥上設有調節裝置,可以對放置硅片位置的寬度尺寸進行調節,從而可以適用于多種尺寸的硅片的傳送,使用方便,生產成本較低。兼容多種尺寸硅片的傳送裝置,可以在硅片的進口設置成喇叭狀并逐漸減少成對使用的兩個調節裝置之間的距離,直到與硅片的尺寸一致,從而具有糾錯功能,可以將傾斜的硅片逐漸歸正,順利傳送。
技術領域
本實用新型涉及太陽能的鏈式濕法處理設備技術領域,更具體地說,是涉及一種兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥及傳送裝置。
背景技術
在太陽能硅片的鏈式濕法處理設備中,目前的用于硅片傳送的導向傳動輥,一般是在導向傳動輥上傳送硅片的位置兩側各設置一個限位裝置,兩個相對的限位裝置之間的距離是固定的,不能調節,這種結構的導向傳動輥僅適用單一尺寸硅片的傳送功能,隨著目前市場多種尺寸的硅片出現,原有的導向傳動輥由于不能滿足不同尺寸的硅片傳送,必須根據硅片的尺寸重新制作并安裝更換,上述的做法即影響客戶的產能又增加設備成本,使用不夠方便,生產成本較高。
實用新型內容
本實用新型提出一種兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥及傳送裝置,以解決現有技術中的導向傳動輥無法兼容多種尺寸硅片,使用不便,生產成本較高的問題。
為了實現上述的目的,本實用新型的技術方案是:
一種兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥,包括:轉動運送硅片的傳動輥、安裝在所述傳動輥上用于支撐所述硅片的調節機構,所述調節機構可沿著所述傳動輥的軸向方向來回移動,且寬度可調節。
所述調節機構包括至少一對調節裝置,每對所述調節裝置中至少有一個調節裝置可沿著所述傳動輥的軸向方向來回移動。
所述調節裝置包括調節套筒和位于其一端與其相互配合鎖緊固定的緊固件。
所述傳動輥上與所述調節裝置相應位置上設有臺階,所述臺階表面設有沿著其軸向延伸的螺旋槽,所述調節套筒和緊固件上設有與所述螺旋槽配合的內螺牙,所述調節套筒和緊固件套在所述臺階上活動連接,每個調節裝置均可在所述
臺階上沿著傳動輥的軸向方向來回移動。
所述調節套筒的一端設有徑向伸出的凸緣,所述緊固件安裝在傳動輥上調節套筒的另一端處。
所述調節套筒的外形尺寸大于所述緊固件的外形尺寸。
所述凸緣的高度大于所述硅片的厚度。
所述凸緣上朝向所述調節套筒中間的端面為向上的斜面。
本實用新型還提供了一種兼容多種尺寸硅片的傳送裝置,所述傳送裝置包括上述的兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥。
所述傳動輥設有多個,該多個傳動輥并排設置并平行排列。
與現有技術相比,本實用新型具有以下有益效果:
本實用新型提出的兼容多種尺寸硅片的導向傳動輥,在導向傳動輥上設有調節裝置,可以對放置硅片位置的寬度尺寸進行調節,從而可以適用于多種尺寸的硅片的傳送,使用方便,生產成本較低。另外,兼容多種尺寸硅片的傳送裝置,可以在硅片的進口設置成喇叭狀并在硅片傳送方向上逐漸減少成對使用的兩個調節裝置之間的距離,直到與硅片的尺寸一致,從而具有糾錯功能,可以將傾斜的硅片逐漸歸正,順利傳送。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖。
圖2是本實用新型的導向傳動輥在具有多個調節裝置時的示意圖。
圖3是本實用新型的傳送裝置的使用狀態示意圖。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





