[實用新型]一種兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥及傳送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921491384.6
• 申請日: 2019-09-09
• 公開（公告）號: CN210296328U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 左國軍;劉洪勇
• 申請（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 朱建霞

1.一種兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：包括：轉(zhuǎn)動運送硅片的傳動輥、安裝在所述傳動輥上用于支撐所述硅片的調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機構(gòu)可沿著所述傳動輥的軸向方向來回移動，且寬度可調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述調(diào)節(jié)機構(gòu)包括至少一對調(diào)節(jié)裝置，每對所述調(diào)節(jié)裝置中至少有一個調(diào)節(jié)裝置可沿著所述傳動輥的軸向方向來回移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置包括調(diào)節(jié)套筒和位于其一端與其相互配合鎖緊固定的緊固件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述傳動輥上與所述調(diào)節(jié)裝置相應(yīng)位置上設(shè)有臺階，所述臺階表面設(shè)有沿著其軸向延伸的螺旋槽，所述調(diào)節(jié)套筒和緊固件上設(shè)有與所述螺旋槽配合的內(nèi)螺牙，所述調(diào)節(jié)套筒和緊固件套在所述臺階上活動連接，每個調(diào)節(jié)裝置均可在所述臺階上沿著傳動輥的軸向方向來回移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述調(diào)節(jié)套筒的一端設(shè)有徑向伸出的凸緣，所述緊固件安裝在傳動輥上調(diào)節(jié)套筒的另一端處。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述調(diào)節(jié)套筒的外形尺寸大于所述緊固件的外形尺寸。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述凸緣的高度大于所述硅片的厚度。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥，其特征在于：所述凸緣上朝向所述調(diào)節(jié)套筒中間的端面為向上的斜面。

9.一種兼容多種尺寸硅片的傳送裝置，其特征在于：所述傳送裝置包括權(quán)利要求1-8任一項所述的兼容多種尺寸硅片的導(dǎo)向傳動輥。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的兼容多種尺寸硅片的傳送裝置，其特征在于：所述傳動輥設(shè)有多個，該多個傳動輥并排設(shè)置并平行排列。