[實(shí)用新型]裝載平臺(tái)限位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921479472.4
• 申請(qǐng)日: 2019-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN210272296U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘卿峰;程鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 顧浩

本實(shí)用新型提供的裝載平臺(tái)限位裝置，包括：限位柱，所述限位柱位于所述裝載平臺(tái)上；限位塊，所述限位塊位于所述裝載平臺(tái)上，所述限位塊為柱體，所述限位塊的截面包含上部傾斜邊和下部豎直邊，所述上部傾斜邊和所述下部豎直邊相鄰，所述上部傾斜邊和所述下部豎直邊呈夾角為滑入內(nèi)角，所述滑入內(nèi)角為鈍角；所述下部豎直邊的高度大于或等于所述限位柱的高度。據(jù)此，晶圓盒從天車系統(tǒng)的6m高度投放時(shí)，晶圓盒先接觸限位塊，限位塊組成的Y型結(jié)構(gòu)能夠?qū)A盒起到預(yù)先校準(zhǔn)和導(dǎo)向的作用，從而晶圓盒能夠準(zhǔn)確的放置到設(shè)計(jì)的位置，并能夠平穩(wěn)的同時(shí)觸發(fā)裝載平臺(tái)接觸偵測(cè)裝置，不會(huì)產(chǎn)生裝載位置錯(cuò)誤報(bào)警，減少機(jī)臺(tái)停機(jī)，減少人工干預(yù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備之轉(zhuǎn)運(yùn)平臺(tái)領(lǐng)域，特別涉及一種裝載平臺(tái)限位裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件制造過程中工序和工位復(fù)雜，需要進(jìn)行大量的轉(zhuǎn)運(yùn)，且生產(chǎn)線的產(chǎn)能較大，比如有些產(chǎn)線達(dá)到了4萬片/月的產(chǎn)量。隨著生產(chǎn)自動(dòng)化的逐步改進(jìn)，半導(dǎo)體制造過程中的物料（主要是晶圓、芯片等）轉(zhuǎn)運(yùn)也多采用自動(dòng)化的設(shè)備進(jìn)行，例如天車系統(tǒng)（亦稱“空中走行式無人搬送車”，Overhead Hoist Transfe，簡稱OHT）。

參閱圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中，天車系統(tǒng)01將晶圓盒02運(yùn)轉(zhuǎn)至工位處，通過其收放機(jī)構(gòu)放下晶圓盒02至工位處的晶圓盒裝載平臺(tái)03上，收放機(jī)構(gòu)由皮帶04、滑輪05、馬達(dá)等部件組成。由于下述原因，

第一，天車系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)小車在位于工位裝載平臺(tái)的上部6m處，也就是需要將晶圓盒從6m高處放下來；

第二，生產(chǎn)線處有橫風(fēng)等空氣擾動(dòng)；

第三，皮帶、滑輪、馬達(dá)等部件的老化也會(huì)導(dǎo)致延伸度、對(duì)中性、同步性等部件精度變差，而且皮帶為一拉力柔性件，雖然在繃緊時(shí)有一定方向性，但是其柔性也導(dǎo)致了定位精度差，而且位置糾錯(cuò)剛性差；

所以，現(xiàn)有技術(shù)的天車系統(tǒng)的晶圓盒投放系統(tǒng)存在如下技術(shù)問題：第一，實(shí)際放置位置與理想位置有偏差，但是理想位置的精度要求較高，從而經(jīng)常出現(xiàn)位置錯(cuò)誤報(bào)警；第二，晶圓盒在投放的時(shí)候，晶圓盒偏斜，放置時(shí)產(chǎn)生晶圓盒偏向振動(dòng)，且不能同時(shí)觸發(fā)位置偵測(cè)系統(tǒng)，有時(shí)甚至也會(huì)觸發(fā)未到位報(bào)警。

參閱圖2所示，記錄了某生產(chǎn)線上某九臺(tái)半導(dǎo)體加工設(shè)備在2019年4月1日至2019年4月15日因晶圓盒未放置到理想位置而被晶圓盒裝載平臺(tái)上的偵測(cè)系統(tǒng)偵測(cè)到位置錯(cuò)誤而機(jī)臺(tái)發(fā)出報(bào)警，其間共報(bào)警14次。當(dāng)發(fā)生位置錯(cuò)誤時(shí)，會(huì)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)設(shè)備停機(jī)，工程師需要進(jìn)行調(diào)整，而且影響機(jī)臺(tái)的流水節(jié)拍，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)產(chǎn)能及工程師人力資源。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種裝載平臺(tái)限位裝置，其目的在于能夠?qū)⒕A盒通過天車系統(tǒng)準(zhǔn)確放置到各工位的裝載平臺(tái)的設(shè)計(jì)的理想位置，減少報(bào)警，減少停機(jī)，提高機(jī)臺(tái)產(chǎn)能，減少人工干預(yù)。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種裝載平臺(tái)限位裝置，包括：

一限位柱，所述限位柱位于所述裝載平臺(tái)上；

一限位塊，所述限位塊位于所述裝載平臺(tái)上，所述限位塊為一柱體，所述限位塊的截面包含一上部傾斜邊和一下部豎直邊，所述上部傾斜邊和所述下部豎直邊相鄰，所述上部傾斜邊和所述下部豎直邊呈一夾角為一滑入內(nèi)角，所述滑入內(nèi)角為一鈍角；

所述下部豎直邊的高度大于或等于所述限位柱的高度。

優(yōu)選地，所述限位塊的數(shù)量為至少二個(gè)，所述限位塊包含一第一限位塊和一第二限位塊；

所述第一限位塊和所述第二限位塊相對(duì)布置，

所述第一上部傾斜邊和第二上部傾斜邊截面正投影呈截角倒三角形，

所述第一下部豎直邊和所述第二下部豎直邊截面正投影呈平行線。

優(yōu)選地，所述裝載平臺(tái)限位裝置用于裝載一晶圓盒，