[實(shí)用新型]真空鍍膜系統(tǒng)及其翻板閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921469717.5
• 申請日: 2019-09-04
• 公開（公告）號: CN210394512U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張智明;靳毅;田旭;孫圍華
• 申請（專利權(quán)）人: 川北真空科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 于妙卓

本實(shí)用新型提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)及其翻板閥，用于密封真空腔體上的閥門通徑，包括閥板、擺桿組件以及驅(qū)動(dòng)組件，閥板用于封堵閥門通徑，閥板的一側(cè)與真空腔體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接；擺桿組件與真空腔體內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，擺桿組件包括與閥板的另一側(cè)鉸接的第一擺桿以及與真空腔體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接的第二擺桿，第一擺桿和第二擺桿相鉸接；驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)第二擺桿轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型提供的真空鍍膜系統(tǒng)及其翻板閥，擺桿組件可以在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)閥板的翻轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)組件之間由兩個(gè)擺桿相鉸接進(jìn)行擺動(dòng)的傳遞，能夠有效的避免整個(gè)擺桿組件因?yàn)檗D(zhuǎn)動(dòng)過于頻繁從而導(dǎo)致螺栓松動(dòng)的問題，保證翻板閥的平穩(wěn)運(yùn)行且使用壽命更長。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空鍍膜系統(tǒng)及其翻板閥。

背景技術(shù)

真空連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線一般由多個(gè)不同功能的模塊構(gòu)成，被鍍基片從一端進(jìn)入，經(jīng)過整個(gè)鍍膜生產(chǎn)線完成鍍膜工藝，從另一端出片既可以完成鍍膜操作，但是在真空鍍膜生產(chǎn)線上需要在不同模塊間形成不同的真空度，因此需要設(shè)置真空翻板閥進(jìn)行真空腔體之間的密封。

現(xiàn)有技術(shù)中的翻板閥主要設(shè)置由翻轉(zhuǎn)軸、壓緊板、螺栓和鎖板構(gòu)成，將壓緊板焊接到翻轉(zhuǎn)軸，再通過螺栓將翻轉(zhuǎn)軸固定于鎖板上，從而使得翻轉(zhuǎn)軸能夠在真空腔體內(nèi)擺動(dòng)，實(shí)現(xiàn)真空腔體的開閉。但是，現(xiàn)有技術(shù)中的翻板采用螺栓實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)軸和鎖板的固定連接，且翻轉(zhuǎn)軸需要頻繁的轉(zhuǎn)動(dòng)控制真空腔體的開閉，因此會(huì)導(dǎo)致螺栓松動(dòng)，從而影響整個(gè)裝置的運(yùn)行。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空鍍膜系統(tǒng)及其翻板閥，以解決現(xiàn)有技術(shù)中翻轉(zhuǎn)軸需要頻繁的轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)導(dǎo)致螺栓松動(dòng)，從而影響整個(gè)裝置的運(yùn)行的技術(shù)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：提供一種翻板閥，用于密封真空腔體上的閥門通徑，包括：閥板、擺桿組件以及驅(qū)動(dòng)組件，閥板用于封堵所述閥門通徑，所述閥板的一側(cè)與所述真空腔體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接；擺桿組件與所述真空腔體內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述擺桿組件包括與所述閥板的另一側(cè)鉸接的第一擺桿以及與所述真空腔體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接的第二擺桿，所述第一擺桿和所述第二擺桿相鉸接；驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述第二擺桿轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述閥板包括可封堵于所述閥門通徑內(nèi)側(cè)的封板和與所述第一擺桿相鉸接的第三擺桿，所述第三擺桿的一端和所述封板固定連接，所述第三擺桿的另一端與所述真空腔體內(nèi)側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

進(jìn)一步地，所述真空腔體的一側(cè)內(nèi)壁上凸設(shè)有第一固定座，所述第一固定座和所述第三擺桿上均開設(shè)有供第一轉(zhuǎn)軸穿過的固定孔。

進(jìn)一步地，所述固定孔為腰形孔。

進(jìn)一步地，所述第一擺桿的厚度小于所述第二擺桿和所述第三擺桿的厚度。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)組件包括第二固定座、轉(zhuǎn)動(dòng)件以及第二轉(zhuǎn)軸，所述第二固定座固定于所述真空腔體的內(nèi)側(cè)壁，所述第二擺桿和所述第二固定座通過所述第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)軸的軸端并帶動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括氣缸、齒輪和齒條，所述氣缸與所述齒條固定連接，所述齒輪和齒條相嚙合，所述齒輪與所述第二轉(zhuǎn)軸固定連接。

進(jìn)一步地，所述第二轉(zhuǎn)軸為圓柱體，且圓柱體的一側(cè)邊形成有切面。

本實(shí)用新型還提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)，包括真空腔體以及如上所述的翻板閥，所述真空腔體內(nèi)側(cè)形成有閥門通徑，且所述翻板閥設(shè)于所述閥門通徑一側(cè)。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)至少兩個(gè)所述擺桿組件。