[實用新型]真空鍍膜系統及其翻板閥

有效

• 申請號: 201921469717.5
• 申請日: 2019-09-04
• 公開（公告）號: CN210394512U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 張智明;靳毅;田旭;孫圍華
• 申請（專利權）人: 川北真空科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 于妙卓

1.翻板閥，用于密封真空腔體(1)上的閥門通徑(11)，其特征在于，包括：

用于封堵所述閥門通徑(11)的閥板(2)，所述閥板(2)的一側與所述真空腔體(1)的內壁轉動連接；以及

與所述真空腔體(1)內壁轉動連接的擺桿組件(3)，所述擺桿組件(3)包括與所述閥板(2)的另一側鉸接的第一擺桿(31)以及與所述真空腔體(1)的內壁轉動連接的第二擺桿(32)，所述第一擺桿(31)和所述第二擺桿(32)相鉸接；以及驅動所述第二擺桿(32)轉動的驅動組件(4)。

2.如權利要求1所述的翻板閥，其特征在于：所述閥板(2)包括可封堵于所述閥門通徑(11)內側的封板(21)和與所述第一擺桿(31)相鉸接的第三擺桿(22)，所述第三擺桿(22)的一端和所述封板(21)固定連接，所述第三擺桿(22)的另一端與所述真空腔體(1)內側壁轉動連接。

3.如權利要求2所述的翻板閥，其特征在于：所述真空腔體(1)的一側內壁上凸設有第一固定座(5)，所述第一固定座(5)和所述第三擺桿(22)上均開設有供第一轉軸穿過的固定孔(51)。

4.如權利要求3所述的翻板閥，其特征在于：所述固定孔(51)為腰形孔。

5.如權利要求2所述的翻板閥，其特征在于：所述第一擺桿(31)的厚度小于所述第二擺桿(32)和所述第三擺桿(22)的厚度。

6.如權利要求1至5任一項所述的翻板閥，其特征在于：所述驅動組件(4)包括第二固定座(41)、轉動件(42)以及第二轉軸(43)，所述第二固定座(41)固定于所述真空腔體(1)的內側壁，所述第二擺桿(32)和所述第二固定座(41)通過所述第二轉軸(43)轉動連接，所述轉動件(42)設于所述第二轉軸(43)的軸端并帶動所述第二轉軸(43)轉動。

7.如權利要求6所述的翻板閥，其特征在于：所述轉動件(42)包括氣缸、齒輪和齒條，所述氣缸與所述齒條固定連接，所述齒輪和齒條相嚙合，所述齒輪與所述第二轉軸(43)固定連接。

8.如權利要求6所述的翻板閥，其特征在于：所述第二轉軸(43)為圓柱體，且圓柱體的一側邊形成有切面。

9.真空鍍膜系統，其特征在于：包括真空腔體(1)以及如權利要求1至8任一項所述的翻板閥，所述真空腔體(1)內側形成有閥門通徑(11)，且所述翻板閥設于所述閥門通徑(11)一側。

10.如權利要求9所述的真空鍍膜系統，其特征在于：所述驅動組件(4)帶動至少兩個所述擺桿組件(3)。