[實用新型]用于光罩檢測的輔助載板

有效

• 申請號: 201921456616.4
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN211043166U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 杜武兵;司繼偉;劉猛
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 黃莉

本實用新型實施例提供一種用于光罩檢測的輔助載板，所述輔助載板上開設有用于容置待檢測光罩的容納槽，容納槽的內側壁的預定位置朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有至少兩根承載條，每根承載條上設置有至少兩級自承載條的自由端向承載條的根部逐級升高的定位臺階，每一級定位臺階均包括一個承載面和兩個相互正交且均垂直于承載面的定位面，分屬于不同承載條上的同一級的定位臺階共同配合形成一個定位結構，同一個定位結構的各承載面位于同一平面上且各定位面分別對應位于一個長方體的四個側面上，每一個定位結構的定位臺階的高度均小于或等于相適配尺寸規格的待檢測光罩的厚度。本實施例方便厚度較小的光罩檢測，避免檢測時顯微鏡的鏡頭被撞壞。

技術領域

本實用新型實施例涉及光罩檢測設備技術領域，尤其涉及一種用于光罩檢測的輔助載板。

背景技術

在光罩生產和使用中都可能造成缺陷，因此需要對光罩的缺陷進行檢測，方便修補，能自動對光罩進行檢測的光罩檢測機應運而生。光罩檢測機設有顯微鏡，通過切換顯微鏡的物鏡實現對焦來清晰地觀察光罩的細微結構。現有光罩檢測機的支撐平臺上設置有卡槽來對光罩進行限位以避免光罩在檢測過程中發生位移。當檢測厚度相對輕薄的光罩時，由于光罩較薄導致光罩的上表面是位于卡槽內部，顯微鏡為清楚的對焦只能將物鏡伸入卡槽，然而，當顯微鏡觀察光罩的邊緣位置時，物鏡很容易會蹭到卡槽的邊緣而被撞壞，檢測的可靠性不高；另外，當光罩的厚度太過于輕薄時，顯微鏡由于無法清楚的對焦而導致檢測失敗。

實用新型內容

本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種用于光罩檢測的輔助載板，方便厚度較小的光罩檢測，避免檢測時顯微鏡的鏡頭被撞壞。

為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提供以下技術方案：一種用于光罩檢測的輔助載板，所述輔助載板上開設有用于容置待檢測光罩的容納槽，所述容納槽的內側壁的預定位置朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有至少兩根承載條，每根所述承載條上設置有至少兩級自承載條的自由端向承載條的根部逐級升高的定位臺階，每一級定位臺階均包括一個承載面和兩個相互正交且均垂直于所述承載面的定位面，分屬于不同承載條上的同一級的定位臺階共同配合形成一個定位結構，同一個定位結構的各承載面位于同一平面上且各定位面分別對應位于一個長方體的四個側面上，每一個定位結構的定位臺階的高度均小于或等于相適配尺寸規格的待檢測光罩的厚度。

進一步的，所述容納槽的內側壁的四個分別對應為一個矩形四頂角的位置處沿所述矩形的對角線朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有四根承載條。

進一步的，所述容納槽的內側壁上的兩個分別對應為一個矩形的一條對角線上的兩頂角的位置處相向地朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有兩根承載條。

進一步的，每根承載條上的相鄰兩級定位臺階的定位面的間距大于或等于用于觀察待檢測光罩的顯微鏡的物鏡鏡筒的半徑。

進一步的，所述容納槽為貫穿所述輔助載板的通槽。

進一步的，所述容納槽在每一級定位臺階組成的定位結構的外側均具有便于取放待檢測光罩的缺口。

采用上述技術方案后，本實用新型實施例至少具有如下有益效果：本實用新型實施例通過在輔助載板上開設容納槽對應容置待檢測光罩，并在容納槽內側壁上設置承載條，進而在承托條上設置定位臺階，而定位臺階的承載面和定位面相互配合可有效對一種尺寸規格的待檢測光罩進行定位，而通過設置至少兩個定位結構各對應一種尺寸規格的待檢測光罩，使本實用新型可適用于多種尺寸規格的待檢測光罩；而且所述定位臺階的高度小于或等于相適配尺寸規格的待檢測光罩的厚度，當待檢測光罩容置于承載條的定位臺階內時，待檢測光罩的上表面是與定位臺階的邊緣位置平齊或是高于邊緣位置，避免顯微鏡的鏡頭對待檢測光罩進行檢測時撞到定位臺階的邊緣位置，提高了檢測的可靠性。本實用新型輔助載板可以應用于光罩檢測機。

附圖說明

圖1為本實用新型用于光罩檢測的輔助載板一個可選實施例的結構示意圖。