[實用新型]用于光罩檢測的輔助載板

有效

• 申請號: 201921456616.4
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN211043166U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 杜武兵;司繼偉;劉猛
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 黃莉

1.一種用于光罩檢測的輔助載板，所述輔助載板上開設有用于容置待檢測光罩的容納槽，其特征在于，所述容納槽的內側壁的預定位置朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有至少兩根承載條，每根所述承載條上設置有至少兩級自承載條的自由端向承載條的根部逐級升高的定位臺階，每一級定位臺階均包括一個承載面和兩個相互正交且均垂直于所述承載面的定位面，分屬于不同承載條上的同一級的定位臺階共同配合形成一個定位結構，同一個定位結構的各承載面位于同一平面上且各定位面分別對應位于一個長方體的四個側面上，每一個定位結構的定位臺階的高度均小于或等于相適配尺寸規格的待檢測光罩的厚度。

2.如權利要求1所述的用于光罩檢測的輔助載板，其特征在于，所述容納槽的內側壁的四個分別對應為一個矩形四頂角的位置處沿所述矩形的對角線朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有四根承載條。

3.如權利要求1所述的用于光罩檢測的輔助載板，其特征在于，所述容納槽的內側壁上的兩個分別對應為一個矩形的一條對角線上的兩頂角的位置處相向地朝容納槽的中部延伸預定長度而形成有兩根承載條。

4.如權利要求1-3任一項所述的用于光罩檢測的輔助載板，其特征在于，每根承載條上的相鄰兩級定位臺階的定位面的間距大于或等于用于觀察待檢測光罩的顯微鏡的物鏡鏡筒的半徑。

5.如權利要求1所述的用于光罩檢測的輔助載板，其特征在于，所述容納槽為貫穿所述輔助載板的通槽。

6.如權利要求1所述的用于光罩檢測的輔助載板，其特征在于，所述容納槽在每一級定位臺階組成的定位結構的外側均具有便于取放待檢測光罩的缺口。