[實用新型]一種三向定位變節距裝置

有效

• 申請號: 201921455053.7
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN210640201U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;羅銀兵;李圣鶴
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 殷海霞

1.一種三向定位變節距裝置，其特征在于，包括升降組件和側推組件，所述升降組件包括上下移動的第一滑塊，所述第一滑塊上固定設置有頂板，所述頂板下側設置第一側板、第二側板、第一驅動源和第二驅動源，所述第一驅動第一側板移動，所述第二驅動源驅動第二側板移動，所述第一側板與第二側板的移動方向在同一條直線上，所述第一側板上設置有多個第一承托槽，多個所述第一承托槽豎直排列，所述第二側板上設置有多個第二承托槽，多個所述第二承托槽豎直排列，所述第一承托槽與第二承托槽配合以承托硅片；所述側推組件包括抵推板和第三驅動源，所述第三驅動源驅動抵推板垂直于第一側板的移動方向移動以抵推硅片的側面。

2.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述升降組件包括第一滑軌和第四驅動源，所述第一滑塊與第一滑軌配合設置，所述第四驅動源驅動第一滑塊沿第一滑軌上下運動。

3.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述頂板底部設置有第二滑軌，所述第二滑軌上配合設置有第二滑塊和第三滑塊，所述第二滑塊與第一側板固定設置，所述第三滑塊與第二側板固定設置。

4.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述第一側板上設置有兩列第一承托槽。

5.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述第二側板上設置有兩列第二承托槽。

6.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述抵推板呈H形。

7.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述第三驅動源為氣缸。

8.如權利要求1所述的三向定位變節距裝置，其特征在于，所述第一驅動源和第二驅動源為氣缸。