[實(shí)用新型]一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921449367.6 | 申請(qǐng)日: | 2019-08-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN210778525U | 公開(公告)日: | 2020-06-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 江岱平;戴玉成;周云;盧國藝;王宏宇;蘇功波 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市騰盛精密裝備股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市世聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44385 | 代理人: | 汪琳琳 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 自動(dòng) 劃片 系統(tǒng) 產(chǎn)品 抓取 搬運(yùn) 組件 | ||
1.一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,包括:
移動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置于移動(dòng)機(jī)構(gòu)的防碰撞機(jī)構(gòu)和設(shè)置于防碰撞機(jī)構(gòu)上的夾持機(jī)構(gòu);
所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括機(jī)械臂、滑動(dòng)設(shè)置于所述機(jī)械臂的連接座和用于驅(qū)動(dòng)連接座沿所述機(jī)械臂來回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)件;
所述防碰撞機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)設(shè)置于連接座的位移滑座、用于檢測所述位移滑座受到外力而產(chǎn)生移動(dòng)的傳感器以及根據(jù)傳感器的信號(hào)控制所述第一驅(qū)動(dòng)件運(yùn)動(dòng)的控制單元;
所述夾持機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述位移滑座的固定指、活動(dòng)指和用于驅(qū)動(dòng)活動(dòng)指靠近或者遠(yuǎn)離固定指的第二驅(qū)動(dòng)件,所述固定指和活動(dòng)指用于夾緊產(chǎn)品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述防碰撞機(jī)構(gòu)還包括與控制單元電連接的報(bào)警器,當(dāng)所述控制單元接收到傳感器的信號(hào)時(shí),所述控制單元控制報(bào)警器報(bào)警。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述機(jī)械臂為單軸機(jī)械臂,所述第一驅(qū)動(dòng)件為伺服電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述第二驅(qū)動(dòng)件為氣缸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述位移滑座上設(shè)置有用于供所述活動(dòng)指滑動(dòng)的限位槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述連接座設(shè)置有線性滑軌,所述線性滑軌平行于所述機(jī)械臂,所述位移滑座與所述線性滑軌滑動(dòng)配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述線性滑軌的兩端分別設(shè)置有用于阻擋位移滑座脫離線性滑軌的第一限位塊和第二限位塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述位移滑座包括用于與線性滑軌滑動(dòng)連接的滑動(dòng)部和用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝部,所述安裝部位于所述第二限位塊遠(yuǎn)離第一限位塊的一側(cè),所述滑動(dòng)部靠近第一限位塊的一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向柱,所述第一限位塊上設(shè)置有與所述導(dǎo)向柱滑動(dòng)配合的導(dǎo)向孔,所述導(dǎo)向柱上套設(shè)有彈簧,所述彈簧的兩端分別連接第一限位塊和所述滑動(dòng)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述傳感器包括設(shè)置于所述滑動(dòng)部的感應(yīng)片和設(shè)置于連接座且用于檢測感應(yīng)片位置的感應(yīng)器,當(dāng)彈簧處于自然狀態(tài)時(shí),所述感應(yīng)片位于感應(yīng)器的感應(yīng)位置上,當(dāng)所述滑動(dòng)部朝第一限位塊運(yùn)動(dòng)時(shí),所述感應(yīng)片脫離感應(yīng)器的感應(yīng)位置,所述感應(yīng)器向控制單元輸出信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的一種自動(dòng)劃片系統(tǒng)的產(chǎn)品抓取搬運(yùn)組件,其特征在于,所述位移滑座上設(shè)置有保護(hù)罩。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





