[實用新型]晶片翻轉轉移裝置

有效

• 申請號: 201921448722.8
• 申請日: 2019-09-02
• 公開（公告）號: CN210763112U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 黃建友;楊清明;劉青彥
• 申請（專利權）人: 成都晶寶時頻技術股份有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G47/248
• 代理公司: 成都欣圣知識產權代理有限公司 51292
• 代理人: 王淇

本實用新型提供了一種晶片翻轉轉移裝置，涉及晶片加工領域。目前，人工將夾具盤內的晶片轉移至物料盤內時，若操作不當會導致晶片散落，使晶片污染或受損。本實用新型的支架上滑動設有吸片機構和夾片機構，夾片機構上還設有伺服旋轉機構，夾片機構將夾具盤和物料盤夾持運輸，吸片機構將夾具盤上的上掩膜板吸取轉移，夾片機構將夾具盤與物料盤夾住并在伺服旋轉機構的作用下實現翻轉，完成對晶片的翻轉轉移，采用機械設備代替人工避免晶片的污染或損壞。

技術領域

涉及晶片加工領域，具體涉及一種晶片翻轉轉移裝置。

背景技術

石英晶體諧振器是用壓電石英(即水晶)制成的壓電器件，它不僅具有高度穩定的物理化學性能，而且彈性振動損耗極小。與其它電子元器件相比，壓電石英晶體還有著很高的頻率穩定度和高Q值，使其成為穩定頻率和選擇頻率的重要元器件。鍍膜工序是保證晶片諧振頻率能夠滿足使用要求的重要工序。為滿足頻率要求要確保鍍膜后晶片表面無異物，無劃痕。

目前采用人工將鍍膜后的晶片從鍍膜夾具盤中翻轉到點膠物料盤內，操作過程中先將鍍膜夾具盤放置在操作臺上，氣泵向下吸氣，將鍍膜夾具盤吸附在操作臺表面，再將鍍膜夾具盤上的上掩膜板取下，把點膠物料盤反置在鍍膜夾具表面，整體翻轉180°，將晶片翻到點膠物料盤內，在此過程中容易出現人工操作不當，例如在取上掩膜板時造成晶片散亂、掉落或是在翻轉過程中掉落等問題，不但可能污染或損壞晶片，并且使用鑷子重新夾取晶片的過程中，會造成污染或損壞晶片，亟需解決。

發明內容

本實用新型的目的是開發一種以機械代替人工，避免晶片在翻轉轉移過程中掉落，結構簡單的晶片翻轉轉移裝置。

本實用新型通過如下的技術方案實現：

晶片翻轉轉移裝置，包括作為支撐件的支架，所述支架上滑動設有吸片機構和夾片機構，所述夾片機構上還設有伺服旋轉機構，夾片機構將夾具盤和物料盤夾持運輸，吸片機構將夾具盤上的上掩膜板吸取轉移，夾片機構將夾具盤與物料盤夾住并在伺服旋轉機構的作用下實現翻轉，完成對晶片的翻轉轉移，采用機械設備代替人工避免晶片的污染或損壞。

進一步的，所述吸片機構下部設有操作臺，所述操作臺上部滑動設有第一支架，所述吸片機構設于第一支架上。

進一步的，所述操作臺上設有若干通孔，所述操作臺下部設有氣泵。

進一步的，所述吸片機構包括滑動設于第一支架上的結構板，所述結構板上設有氣缸，所述氣缸下部設有吸盤。

進一步的，所述操作臺兩側分別設有一個升降機構，所述升降機構上分別設有一個放置夾具盤或物料盤的提籃。

進一步的，所述提籃包括兩個豎向布置的側板，所述側板在豎向上等間距設有多個支撐臺，夾具盤或物料盤兩端分別位于兩側板的支撐臺上。

進一步的，所述升降機構上部分別滑動設有第二支架，所述第二支架上設有夾片機構。

進一步的，所述夾片機構包括滑動設于第二支架上的結構板，所述結構板上設有氣缸，所述氣缸活塞桿上設有伺服旋轉機構，所述伺服旋轉機構上設有夾持機械手。

進一步的，所述夾持機械手包括兩個與伺服旋轉機構轉動連接的夾持板，兩個所述夾持板之間設有微型氣缸，所述夾持板上轉動設有傳動桿，所述傳動桿的另一端與微型氣缸的活塞桿轉動連接。

進一步的，所述支架上設有同步帶以及驅動同步帶運動的伺服系統，所述吸片機構和夾持機構皆設于同步帶上。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過吸片機構、夾持機構以及伺服旋轉機構的配合，實現機械代替人工自動將夾具盤上的上掩膜板吸取并轉移，并且將夾具盤和物料盤翻轉，使晶片落入物料盤內，避免發生晶片掉落而導致晶片污染或損壞。

附圖說明