[實用新型]晶片翻轉轉移裝置

有效

• 申請號: 201921448722.8
• 申請日: 2019-09-02
• 公開（公告）號: CN210763112U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 黃建友;楊清明;劉青彥
• 申請（專利權）人: 成都晶寶時頻技術股份有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G47/248
• 代理公司: 成都欣圣知識產權代理有限公司 51292
• 代理人: 王淇

1.晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，包括：

支架，其為支撐件；

吸片機構，其滑動設于支架上；

夾片機構，其滑動設于支架上；

伺服旋轉機構（11），其設于夾片機構上；

其中，夾片機構將夾具盤和物料盤夾持運輸，吸片機構將夾具盤上的上掩膜板吸取轉移，夾片機構將夾具盤與物料盤夾住并在伺服旋轉機構（11）的作用下實現翻轉。

2.根據權利要求1所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述吸片機構下部設有操作臺（1），所述操作臺（1）上部滑動設有第一支架（2），所述吸片機構設于第一支架（2）上。

3.根據權利要求2所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述操作臺（1）上設有若干通孔，所述操作臺（1）下部設有氣泵（6）。

4.根據權利要求2所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述吸片機構包括滑動設于第一支架（2）上的結構板，所述結構板上設有氣缸，所述氣缸下部設有吸盤（5）。

5.根據權利要求2所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述操作臺（1）兩側分別設有一個升降機構，所述升降機構上分別設有一個放置夾具盤或物料盤的提籃（16）。

6.根據權利要求5所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述提籃（16）包括兩個豎向布置的側板（160），所述側板（160）在豎向上等間距設有多個支撐臺（162），夾具盤或物料盤兩端分別位于兩側板（160）的支撐臺（162）上。

7.根據權利要求5所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述升降機構上部分別滑動設有第二支架（7），所述第二支架（7）上設有夾片機構。

8.根據權利要求7所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述夾片機構包括滑動設于第二支架（7）上的結構板，所述結構板上設有氣缸，所述氣缸的活塞桿上設有伺服旋轉機構（11），所述伺服旋轉機構（11）上設有夾持機械手。

9.根據權利要求8所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述夾持機械手包括兩個與伺服旋轉機構（11）轉動連接的夾持板（12），兩個所述夾持板（12）之間設有微型氣缸（14），所述夾持板（12）上轉動設有傳動桿（13），所述傳動桿（13）的另一端與微型氣缸（14）的活塞桿轉動連接。

10.根據權利要求1~9任意一項所述的晶片翻轉轉移裝置，其特征在于，所述支架上設有同步帶以及驅動同步帶運動的伺服系統，所述吸片機構和夾持機構皆設于同步帶上。