[實用新型]硅片清洗用石英槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921444123.9
• 申請日: 2019-09-02
• 公開（公告）號: CN210586280U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高翔鷹;張少陽;裴文龍;陳晨
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州芯矽電子科技有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/08;B08B3/10;H01L21/673
• 代理公司: 南京艾普利德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 陸明耀

1.一種硅片清洗用石英槽，包括具有方形結(jié)構(gòu)的外槽（31）和內(nèi)槽（32），所述外槽（31）和內(nèi)槽（32）套設(shè)呈雙層結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)槽（32）的槽口面低于所述外槽（31）的槽口面，所述內(nèi)槽（32）的槽口位置為鋸齒結(jié)構(gòu)，用于使所述內(nèi)槽（32）中的清洗液溢流至外槽（31）中，所述外槽（31）和內(nèi)槽（32）之間設(shè)置有循環(huán)管路，其特征在于：所述內(nèi)槽（32）中設(shè)置有用于放置硅片的支撐架（4），所述支撐架（4）與所述內(nèi)槽（32）不接觸，所述支撐架（4）由設(shè)置在所述外槽（31）外側(cè)的立架（1）所支撐。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述支撐架（4）為石英矩形框，兩長邊上對稱設(shè)置有用于卡設(shè)所述硅片的鋸齒凸起（43）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述支撐架（4）的兩短邊上分別固定設(shè)置有第一L型石英桿（41）和第二L型石英桿（42），所述第一L型石英桿（41）和第二L型石英桿（42）的自由端均伸出所述外槽（31）的橫截面并通過連接件（5）夾緊固定于所述立架（1）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的槽口一側(cè)橫跨蓋設(shè)有一進(jìn)液板（2），所述第一L型石英桿（41）的自由端橫跨設(shè)置在所述進(jìn)液板（2）的上表面的上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述進(jìn)液板（2）上設(shè)有進(jìn)液孔（21）和監(jiān)測孔（22），所述進(jìn)液孔（21）可用于注液；所述監(jiān)測孔（22）用于插入輔助監(jiān)測裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的一側(cè)底端設(shè)置有外槽循環(huán)及外排液管（311），所述外槽循環(huán)及外排液管（311）與所述循環(huán)管路及一泵相連接后連通至所述內(nèi)槽（32）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述內(nèi)槽（32）的一側(cè)下部設(shè)置有用于與所述循環(huán)管路連通的內(nèi)循環(huán)管（321）和用于排出內(nèi)槽液體的內(nèi)排液管（322），所述內(nèi)循環(huán)管（321）的外端與所述泵相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述內(nèi)循環(huán)管（321）的內(nèi)端伸入至所述內(nèi)槽（32）中且其管壁上設(shè)有大小均勻的出液孔（3211）。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的一側(cè)上端設(shè)有安全管（312）。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述硅片清洗用石英槽的槽體內(nèi)還設(shè)置有電熱偶護(hù)管。