[實用新型]多功能芯片拾取放置裝置有效
| 申請號: | 201921441514.5 | 申請日: | 2019-08-30 |
| 公開(公告)號: | CN210403669U | 公開(公告)日: | 2020-04-24 |
| 發明(設計)人: | 吳超;蔣星 | 申請(專利權)人: | 恩納基智能科技無錫有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68 |
| 代理公司: | 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聶啟新 |
| 地址: | 214037 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多功能 芯片 拾取 放置 裝置 | ||
1.一種多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:包括工作平臺(1),橫跨所述工作平臺(1)安裝有軌道輸送機構(12),位于工作平臺(1)外部的軌道輸送機構(12)兩端頭分別安裝有料片上料機構(2)和下料機構(3),所述工作平臺(1)上沿著軌道輸送機構(12)的方向依次設置有工位一和工位二;位于工位一與工位二間隔處的工作平臺(1)上安裝有識別裝置(7),識別裝置(7)上方安裝有快換機構(8);
所述工位一的結構為:包括固裝于工作平臺(1)上的芯片上料機構(5),芯片上料機構(5)與軌道輸送機構(12)之間安裝有蘸膠盤組件(4);
所述工位二的結構為:包括固裝于工作平臺(1)上的晶元上料機構(9),位于晶元上料機構(9)底部的工作平臺(1)上安裝有頂晶機構(10);晶元上料機構(9)與軌道輸送機構(12)之間安裝有與工位一相同的蘸膠盤組件(4)。
2.如權利要求1所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述芯片上料機構(5)的結構為:包括通過支腳固裝于工作平臺(1)上的小平臺一(51),小平臺一(51)上安裝有治具基座(52),治具基座(52)上設置有多個下氣孔(53),所述下氣孔(53)與外部氣源相連,與所述下氣孔(53)相對應的治具基座(52)上設置有密封墊(54);所述治具基座(52)上表面三側邊緣處設置有擋條(55),位于三側擋條(55)內側的治具基座(52)上安裝有治具(57);位于擋條(55)內側的治具基座(52)上嵌裝有磁鐵(56)。
3.如權利要求2所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述治具(57)的結構為:包括安裝于治具基座(52)上的治具底板(571),治具底板(571)端頭設置有治具把手(572),所述治具底板(571)上設置有放置芯片料盒(58)的多個穴位,所述穴位與下氣孔(53)一一對應;與穴位相對應的治具底板(571)上開有與下氣孔(53)相貫通的上氣孔(574),與所述上氣孔(574)相對應的治具底板(571)上設置有密封圈(573);與穴位相對應的治具底板(571)上安裝有多個限位銷(59)和卡扣機構(575),所述限位銷(59)設置于各個穴位的相鄰兩邊緣處,所述卡扣機構(575)設置于限位銷(59)對角處。
4.如權利要求3所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述卡扣機構(575)的結構為:包括與治具底板(571)固裝的卡扣基座(5751),所述卡扣基座(5751)為“┏┓”型結構,貫穿卡扣基座(5751)兩側壁安裝有轉軸(5752),位于卡扣基座(5751)內部的轉軸(5752)上轉動安裝有L型結構的卡扣件(5754);貫穿卡扣件(5754)側壁安裝有螺釘(5753),所述螺釘(5753)上套裝有彈簧(5755),所述彈簧(5755)端部固裝于治具底板(571)。
5.如權利要求1所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述晶元上料機構(9)的結構為:包括通過支腳固裝于工作平臺(1)上的小平臺二(901),所述小平臺二(901)底面的端部通過電機基板(902)安裝有上料電機(903),所述上料電機(903)的輸出端穿過小平臺二(901)并在端頭安裝有上料帶輪一(904),位于上料帶輪一(904)旁邊的電機基板(902)上轉動安裝有芯軸(907),所述芯軸(907)貫穿電機基板(902),所述芯軸(907)兩端部分別安裝有上料帶輪二(906)和上料帶輪三(908),所述上料帶輪一(904)與上料帶輪二(906)之間通過小皮帶(905)連接;位于電機基板(902)旁邊的小平臺二(901)上安裝有大軸承(912),所述大軸承(912)內部安裝有環座(913),所述環座(913)貫穿小平臺二(901),所述環座(913)底部固裝有大帶輪(911),所述大帶輪(911)與上料帶輪三(908)之間通過大皮帶(910)連接,位于大皮帶(910)外側的小平臺二(901)底部安裝有張緊輪(909);所述環座(913)頂部安裝有卡環(914),所述卡環(914)外邊緣向外延伸形成安裝晶圓環的臺階,位于晶圓環旁邊的卡環(914)上還安裝有擋板(915)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





