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[實用新型]多功能芯片拾取放置裝置有效

專利信息
申請號: 201921441514.5 申請日: 2019-08-30
公開(公告)號: CN210403669U 公開(公告)日: 2020-04-24
發明(設計)人: 吳超;蔣星 申請(專利權)人: 恩納基智能科技無錫有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68
代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228 代理人: 聶啟新
地址: 214037 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多功能 芯片 拾取 放置 裝置
【權利要求書】:

1.一種多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:包括工作平臺(1),橫跨所述工作平臺(1)安裝有軌道輸送機構(12),位于工作平臺(1)外部的軌道輸送機構(12)兩端頭分別安裝有料片上料機構(2)和下料機構(3),所述工作平臺(1)上沿著軌道輸送機構(12)的方向依次設置有工位一和工位二;位于工位一與工位二間隔處的工作平臺(1)上安裝有識別裝置(7),識別裝置(7)上方安裝有快換機構(8);

所述工位一的結構為:包括固裝于工作平臺(1)上的芯片上料機構(5),芯片上料機構(5)與軌道輸送機構(12)之間安裝有蘸膠盤組件(4);

所述工位二的結構為:包括固裝于工作平臺(1)上的晶元上料機構(9),位于晶元上料機構(9)底部的工作平臺(1)上安裝有頂晶機構(10);晶元上料機構(9)與軌道輸送機構(12)之間安裝有與工位一相同的蘸膠盤組件(4)。

2.如權利要求1所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述芯片上料機構(5)的結構為:包括通過支腳固裝于工作平臺(1)上的小平臺一(51),小平臺一(51)上安裝有治具基座(52),治具基座(52)上設置有多個下氣孔(53),所述下氣孔(53)與外部氣源相連,與所述下氣孔(53)相對應的治具基座(52)上設置有密封墊(54);所述治具基座(52)上表面三側邊緣處設置有擋條(55),位于三側擋條(55)內側的治具基座(52)上安裝有治具(57);位于擋條(55)內側的治具基座(52)上嵌裝有磁鐵(56)。

3.如權利要求2所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述治具(57)的結構為:包括安裝于治具基座(52)上的治具底板(571),治具底板(571)端頭設置有治具把手(572),所述治具底板(571)上設置有放置芯片料盒(58)的多個穴位,所述穴位與下氣孔(53)一一對應;與穴位相對應的治具底板(571)上開有與下氣孔(53)相貫通的上氣孔(574),與所述上氣孔(574)相對應的治具底板(571)上設置有密封圈(573);與穴位相對應的治具底板(571)上安裝有多個限位銷(59)和卡扣機構(575),所述限位銷(59)設置于各個穴位的相鄰兩邊緣處,所述卡扣機構(575)設置于限位銷(59)對角處。

4.如權利要求3所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述卡扣機構(575)的結構為:包括與治具底板(571)固裝的卡扣基座(5751),所述卡扣基座(5751)為“┏┓”型結構,貫穿卡扣基座(5751)兩側壁安裝有轉軸(5752),位于卡扣基座(5751)內部的轉軸(5752)上轉動安裝有L型結構的卡扣件(5754);貫穿卡扣件(5754)側壁安裝有螺釘(5753),所述螺釘(5753)上套裝有彈簧(5755),所述彈簧(5755)端部固裝于治具底板(571)。

5.如權利要求1所述的多功能芯片拾取放置裝置,其特征在于:所述晶元上料機構(9)的結構為:包括通過支腳固裝于工作平臺(1)上的小平臺二(901),所述小平臺二(901)底面的端部通過電機基板(902)安裝有上料電機(903),所述上料電機(903)的輸出端穿過小平臺二(901)并在端頭安裝有上料帶輪一(904),位于上料帶輪一(904)旁邊的電機基板(902)上轉動安裝有芯軸(907),所述芯軸(907)貫穿電機基板(902),所述芯軸(907)兩端部分別安裝有上料帶輪二(906)和上料帶輪三(908),所述上料帶輪一(904)與上料帶輪二(906)之間通過小皮帶(905)連接;位于電機基板(902)旁邊的小平臺二(901)上安裝有大軸承(912),所述大軸承(912)內部安裝有環座(913),所述環座(913)貫穿小平臺二(901),所述環座(913)底部固裝有大帶輪(911),所述大帶輪(911)與上料帶輪三(908)之間通過大皮帶(910)連接,位于大皮帶(910)外側的小平臺二(901)底部安裝有張緊輪(909);所述環座(913)頂部安裝有卡環(914),所述卡環(914)外邊緣向外延伸形成安裝晶圓環的臺階,位于晶圓環旁邊的卡環(914)上還安裝有擋板(915)。

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