[實用新型]碳化硅長晶爐超導冷卻機組

有效

• 申請號: 201921440533.6
• 申請日: 2019-09-02
• 公開（公告）號: CN210314566U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 徐建峰
• 申請（專利權）人: 青島云創環境科技有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B35/00;F27D9/00
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 卓邦榮;郭成

本實用新型涉及碳化硅長晶爐超導冷卻機組，包括外殼及位于外殼內部的多組相互連接的板式換熱器和冷凝器；所述板式換熱器通過兩條管道與長晶爐爐體連接，一條管道自長晶爐爐體輸送載冷劑至板式換熱器內，載冷劑經所述板式換熱器降溫后，經另一條管道輸送至水晶爐爐體內；所述板式換熱器內接收載冷劑的管道聯通至冷凝器內，所述冷凝器將載冷劑降溫后，通過另一條管道經板式換熱器內部輸送至長晶爐爐體內。具有能耗低、溫度控制恒定的優點，彌補了傳統冷卻機房通過冷卻塔冷卻方式消耗大量水源的不足。

技術領域

本實用新型涉及新型半導體長晶技術領域，尤其涉及一種應用于電子半導體行業的碳化硅長晶爐高穩定、恒溫恒壓恒流量冷卻系統的超導冷卻機組裝置。

背景技術

目前，國內在第三代半導體行業技術力量極其薄弱，在半導體碳化硅長晶生產工藝環節，冷卻系統的穩定是直接影響碳化硅產品的生成質量；傳統的冷卻方式是建設冷卻機房，通過冷卻塔、冷卻泵、換熱器等多個中間環節對碳化硅長晶設備生產過程進行冷卻，存在能耗高、維護成本高、系統繁瑣、穩定性差、投資高、達不到高精度控制等缺點。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供碳化硅長晶爐超導冷卻機組，以解決現有技術中存在的缺陷。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：

一種應用于電子半導體的碳化硅長晶爐超導冷卻機組裝置，包括外殼及位于外殼內部的多組相互連接的板式換熱器和冷凝器；所述板式換熱器通過兩條管道與長晶爐爐體連接，一條管道自長晶爐爐體輸送載冷劑至板式換熱器內，載冷劑經所述板式換熱器降溫后，經另一條管道輸送至水晶爐爐體內；所述板式換熱器內接收載冷劑的管道聯通至冷凝器內，所述冷凝器將載冷劑降溫后，通過另一條管道經板式換熱器內部輸送至長晶爐爐體內；

進一步的，所述冷凝器與板式換熱器之間的管道上設置有為載冷劑循環提供動力的水泵；

進一步的，所述冷凝器與板式換熱器之間安裝3個溫度檢測傳感器，利用溫度檢測傳感器實現對系統的精確測溫；

進一步的，所述冷凝器的上端安裝一個用于加速冷凝器散熱的單軸軸流風機；

進一步的，該裝置包括六組相互連接的板式換熱器和冷凝器構成的制冷系統，每個所述制冷系統內的冷凝器數量為兩個；

本實用新型的有益效果是：避免了傳統系統能耗高、維護成本高、系統繁瑣、穩定性差、投資高、達不到高精度控制的現狀；設置的溫度檢測傳感器，克服了傳統冷卻機房碳化硅冷卻系統的溫度和壓力不恒定的缺陷；整個裝置的載冷劑循環利用，非間接式冷卻，彌補了傳統冷卻機房通過冷卻塔冷卻方式消耗大量水源的不足。

附圖說明

圖1為碳化硅長晶爐超導冷卻機組系統圖；

圖2為單臺機組每小組系統原理圖；

其中：

1、板式換熱器，2、冷凝器，3、單軸軸流風機，4、水泵，5、溫度檢測傳感器；

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

如圖1-2所示為本實用新型一個具體實施例1，具體公開了一種碳化硅長晶爐超導冷卻機組，包括板式換熱器1、冷凝器2，長晶爐爐體連接板式換熱器，長晶爐內的載冷劑通過管道送入板式換熱器，并利用板式換熱器降溫；板式換熱器連接長晶爐爐體，降溫后的載冷劑通過管道回送入長晶爐爐體內，利用載冷劑對長晶爐爐體進行降溫；

更具體的，板式換熱器連接冷凝器，板式換熱器內的載冷劑通過管道送入冷凝器內，利用冷凝器對載冷劑進行降溫；