[實(shí)用新型]碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921440533.6 | 申請(qǐng)日： | 2019-09-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN210314566U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-04-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐建峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島云創(chuàng)環(huán)境科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B29/36 | 分類號(hào)： | C30B29/36;C30B35/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421 | 代理人： | 卓邦榮;郭成 |
| 地址： | 266000 山東省青島市高新*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 碳化硅 長(zhǎng)晶爐 超導(dǎo) 冷卻 機(jī)組 | ||
1.碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組，其特征在于：包括外殼及位于外殼內(nèi)部的多組相互連接的板式換熱器和冷凝器；所述板式換熱器通過(guò)兩條管道與長(zhǎng)晶爐爐體連接，一條管道自長(zhǎng)晶爐爐體輸送載冷劑至板式換熱器內(nèi)，載冷劑經(jīng)所述板式換熱器降溫后，經(jīng)另一條管道輸送至水晶爐爐體內(nèi)；所述板式換熱器內(nèi)接收載冷劑的管道聯(lián)通至冷凝器內(nèi)，所述冷凝器將載冷劑降溫后，通過(guò)另一條管道經(jīng)板式換熱器內(nèi)部輸送至長(zhǎng)晶爐爐體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組，其特征在于：所述冷凝器與板式換熱器之間的管道上設(shè)置有為載冷劑循環(huán)提供動(dòng)力的水泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組，其特征在于：所述冷凝器與板式換熱器之間安裝3個(gè)溫度檢測(cè)傳感器，利用溫度檢測(cè)傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的精確測(cè)溫。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組，其特征在于：所述冷凝器的上端安裝一個(gè)用于加速冷凝器散熱的單軸軸流風(fēng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的碳化硅長(zhǎng)晶爐超導(dǎo)冷卻機(jī)組，其特征在于：該裝置包括六組相互連接的板式換熱器和冷凝器構(gòu)成的制冷系統(tǒng)，每個(gè)所述制冷系統(tǒng)內(nèi)的冷凝器數(shù)量為兩個(gè)。
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