[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921434903.5
• 申請日: 2019-08-31
• 公開（公告）號: CN210222484U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王堅紅;徐明成;陳鋒;黃國軍;王鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 常山弘遠(yuǎn)電子有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/40
• 代理公司: 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本實(shí)用新型公開了一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，涉及半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域，針對現(xiàn)有的晶圓不能與顯影液或定影液充分接觸的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)頂部設(shè)有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器與驅(qū)動電機(jī)傳動連接，所述聯(lián)軸器頂部設(shè)有平面軸承，所述平面軸承頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤，所述旋轉(zhuǎn)托盤頂部表面設(shè)有溶液缸體。通過設(shè)有驅(qū)動電機(jī)和溶液缸體，在溶液缸體內(nèi)裝顯影液或定影液，將晶圓插入載片盒，驅(qū)動電機(jī)工作轉(zhuǎn)動，依次帶動聯(lián)軸器、平面軸承、旋轉(zhuǎn)托盤和溶液缸體轉(zhuǎn)動，從而帶動溶液缸體內(nèi)部的顯影液或定影液移動，增加顯影液或定影液與晶圓的接觸機(jī)會和接觸壓力，使晶圓與顯影液或定影液充分接觸，從而提高了顯定影效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置。

背景技術(shù)

目前臺面半導(dǎo)體芯片的光刻工序中，在曝光后的顯影工序一般把晶圓放入載片盒，人工或機(jī)械方式操作載片盒，使載片盒帶動晶圓上下或前后擾動的顯影，使用顯影液或定影液清洗漂洗去除晶圓上的未曝光的光刻膠區(qū)域。由于載片盒的需要固定晶圓的結(jié)構(gòu)設(shè)計限制，晶圓在上下或前后擾動過程中，晶圓邊緣無數(shù)次碰撞，在顯定影工序及后工序造成晶圓碎片及隱裂。另外，在載片盒與晶圓接觸部分，僅僅上下或前后擾動，顯影液或定影液不能充分清洗漂洗，使得晶圓上固定位置的外觀缺陷、良率低，因此，發(fā)明一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置很有必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，包括驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)頂部設(shè)有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器與驅(qū)動電機(jī)傳動連接，所述聯(lián)軸器頂部設(shè)有平面軸承，所述平面軸承頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤，所述旋轉(zhuǎn)托盤頂部表面設(shè)有溶液缸體，所述溶液缸體頂部設(shè)有載片盒掛架，所述載片盒掛架與溶液缸體之間設(shè)有載片盒，所述載片盒掛架頂部設(shè)有移動座。

優(yōu)選的，所述平面軸承與聯(lián)軸器螺紋連接，所述平面軸承外側(cè)設(shè)有穩(wěn)定板，所述穩(wěn)定板外側(cè)設(shè)有定位螺栓，所述定位螺栓貫穿穩(wěn)定板與旋轉(zhuǎn)托盤螺紋連接。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)托盤底部表面設(shè)有卡接槽，所述卡接槽與平面軸承頂部表面卡接，所述旋轉(zhuǎn)托盤兩側(cè)固定設(shè)有側(cè)板，所述側(cè)板內(nèi)側(cè)設(shè)有推板，所述側(cè)板與推板之間均勻設(shè)有電動推桿。

優(yōu)選的，所述溶液缸體頂部一端設(shè)有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿與溶液缸體鉸接，所述轉(zhuǎn)動桿外側(cè)固定設(shè)有頂蓋。

優(yōu)選的，所述載片盒掛架與載片盒之間設(shè)有連接桿，所述載片盒內(nèi)部均勻設(shè)有插孔，所述插孔內(nèi)部插接有晶圓。

優(yōu)選的，所述移動座與載片盒掛架之間均勻設(shè)有液壓升降桿，所述移動座部外側(cè)連接有驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的有益效果為：通過設(shè)有驅(qū)動電機(jī)和溶液缸體，在溶液缸體內(nèi)裝顯影液或定影液，將晶圓插入載片盒，驅(qū)動電機(jī)工作轉(zhuǎn)動，依次帶動聯(lián)軸器、平面軸承、旋轉(zhuǎn)托盤和溶液缸體轉(zhuǎn)動，從而帶動溶液缸體內(nèi)部的顯影液或定影液移動，增加顯影液或定影液與晶圓的的接觸機(jī)會和接觸壓力，使晶圓與顯影液或定影液充分接觸，從而提高了顯定影效果，避免了圓晶上固定位置外觀缺陷、良率低的情況發(fā)生；

通過設(shè)有外設(shè)的載片盒掛架和頂蓋，不僅方便載片盒懸掛，而且適合不同尺寸的載片盒，溶液缸體與包括驅(qū)動電機(jī)、聯(lián)軸器、平面軸承、和旋轉(zhuǎn)托盤組成的裝置可以進(jìn)行簡單快速的分離，方便溶液缸體的清潔與更換溶液，在不使用時，取走載片盒掛架及其底部連接的載片盒，溶液缸體上加上頂蓋，防止溶液揮發(fā)，節(jié)約使用，在本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，顯影定影充分，晶圓不易碎，應(yīng)用廣泛；

通過設(shè)有穩(wěn)定板和側(cè)板，安裝時將旋轉(zhuǎn)托盤卡在平面軸承頂部后，穩(wěn)定板由外側(cè)的定位螺栓與旋轉(zhuǎn)托盤底部連接，使旋轉(zhuǎn)托盤和平面軸承更加牢固的連接在一起，將溶液缸體放置在旋轉(zhuǎn)托盤表面后，電動推桿推動推板由兩側(cè)將溶液缸體的位置進(jìn)行限定，避免工作過程中溶液缸體由旋轉(zhuǎn)托盤表面掉落的情況發(fā)生。