[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921434903.5
• 申請(qǐng)日: 2019-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN210222484U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王堅(jiān)紅;徐明成;陳鋒;黃國(guó)軍;王鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常山弘遠(yuǎn)電子有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30;G03F7/40
• 代理公司: 北京科家知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)頂部設(shè)有聯(lián)軸器(2)，所述聯(lián)軸器(2)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)傳動(dòng)連接，所述聯(lián)軸器(2)頂部設(shè)有平面軸承(3)，所述平面軸承(3)頂部設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤(4)，所述旋轉(zhuǎn)托盤(4)頂部表面設(shè)有溶液缸體(5)，所述溶液缸體(5)頂部設(shè)有載片盒掛架(6)，所述載片盒掛架(6)與溶液缸體(5)之間設(shè)有載片盒(7)，所述載片盒掛架(6)頂部設(shè)有移動(dòng)座(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，其特征在于，所述平面軸承(3)與聯(lián)軸器(2)螺紋連接，所述平面軸承(3)外側(cè)設(shè)有穩(wěn)定板(31)，所述穩(wěn)定板(31)外側(cè)設(shè)有定位螺栓，所述定位螺栓貫穿穩(wěn)定板(31)與旋轉(zhuǎn)托盤(4)螺紋連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)托盤(4)底部表面設(shè)有卡接槽(41)，所述卡接槽(41)與平面軸承(3)頂部表面卡接，所述旋轉(zhuǎn)托盤(4)兩側(cè)固定設(shè)有側(cè)板(42)，所述側(cè)板(42)內(nèi)側(cè)設(shè)有推板(43)，所述側(cè)板(42)與推板(43)之間均勻設(shè)有電動(dòng)推桿(44)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，其特征在于，所述溶液缸體(5)頂部一端設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(51)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(51)與溶液缸體(5)鉸接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(51)外側(cè)固定設(shè)有頂蓋(52)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，其特征在于，所述載片盒掛架(6)與載片盒(7)之間設(shè)有連接桿(61)，所述載片盒(7)內(nèi)部均勻設(shè)有插孔，所述插孔內(nèi)部插接有晶圓。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)顯定影裝置，其特征在于，所述移動(dòng)座(8)與載片盒掛架(6)之間均勻設(shè)有液壓升降桿(81)，所述移動(dòng)座(8)頂部外側(cè)連接有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。