[實用新型]機臺冷卻水調節裝置

有效

• 申請號: 201921401650.1
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN210272274U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 曹靖波;俞瑋;何春雷
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 顧浩

本實用新型提供一種機臺冷卻水調節裝置，包含：一管路，用以流動所述冷卻水，所述冷卻水具有一水流方向；一流量偵測器，用以偵測管路中冷卻水的流量；一調節控制器，所述調節控制器與所述流量偵測器連接；一流量調節閥，所述流量調節閥安裝在所述管路中，所述流量調節閥位于所述流量偵測器的水流方向的上游，所述流量調節閥與所述調節控制器連接。據此，能夠實現對冷卻水流量的實時偵測，并且根據偵測結果通過調節控制器內部電路連接后輸出一執行信號，所述執行信號將驅動流量調節閥運動，從而調節管路中的冷卻水流量。進而，減少了操作人員的介入，提高機臺冷卻水流量控制的機電化程度，使得管路中的水流量穩定在設定范圍內。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造設備領域，特別涉及一種機臺冷卻水調節裝置。

背景技術

在半導體器件的制造過程的部分工藝中，機臺的反應腔體內的設定溫度從600℃至1050℃。冷卻水通過管道流至機臺反應腔附近，通過水循環能夠帶走部分多余熱量，水的比熱容較大能夠穩定溫度。機臺的冷卻水配合加熱腔共同保持反應腔體內的溫度穩定，因此，機臺冷卻水需要在極小的范圍內波動，流體的主要參數包括壓力和流量等。參閱圖1所示，流量顯示裝置內顯示了各個冷卻水流量的設定范圍，要求的流量在2.5±0.5 L/min、2.5±0.5 L/min、3.5±0.5 L/min、2.5±0.5 L/min、7.0±1.0 L/min范圍內。

現有技術中，參閱圖1所示，該流量顯示裝置會將監控水管內的流量顯示出來。參閱圖2所示，控制水管內流量有一排手動閥，分別對應各個管路標記，也具有調大調小標記。操作人員巡回檢查該臺機的冷卻水的流量是否在設定的范圍內，如果超出設定的范圍則手動旋轉對應的旋鈕，調大或調小水管內的流量。

現有技術采用顯示流量、告知流量范圍、手動閥調節的方式來控制水管內冷卻水的流量在預先設定的范圍內。現有技術的機臺冷卻水調節裝置存在以下缺陷：

1. 需要操作人員進行人為判斷流量是否過大或過小或在合理范圍內，以及據此作出是否需要手動旋鈕，并且由于其觀測到的流量具有一定的滯后性，人為因素加大加工設備的不穩定性，也給操作人員造成一定的困擾。

2. 機臺的冷卻水流量需要人為地機臺端調節，往往不能及時察覺到機臺冷卻水流量的變化并進行調整。在某些極端條件下（操作人員疏忽監控冷卻水流量），水流量可能降低超過機臺警戒點，會導致反應腔體的溫度超過設定的溫度值，導致工藝程式異常終止，最終造成產品的報廢。

實用新型內容

為了解決以上技術問題，本實用新型提供一種機臺冷卻水調節裝置，其目的在于減少機臺冷卻水調節中操作人員的介入，減輕其監控的負擔，并降低人為因素給機臺冷卻水流量監控帶來的不良影響，使得機臺冷卻水流量穩定在設定范圍內。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種機臺冷卻水調節裝置，包括：

一管路，用以流動所述冷卻水，所述冷卻水具有一水流方向；

一流量偵測器，用以偵測管路中冷卻水的流量；

一調節控制器，所述調節控制器與所述流量偵測器連接；

一流量調節閥，所述流量調節閥安裝在所述管路中，所述流量調節閥位于所述流量偵測器的水流方向的上游，所述流量調節閥與所述調節控制器連接。

優選地，所述機臺冷卻水調節裝置還包括：一壓力調節閥，所述壓力調節閥安裝在所述管路中，所述壓力調節閥位于所述流量調節閥的水流方向的上游。

優選地，所述流量偵測器包含一容積式流量計、或差壓流量計、或浮子流量計、或渦輪流量計、或電磁流量計、或渦街流量計、或超聲流量計、或質量流量計、或插入式流量計。

優選地，所述流量偵測器輸出一測得電壓值，所述測得電壓值與所述流量相關。