[實(shí)用新型]光波導(dǎo)元件及光調(diào)制器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921399680.3
• 申請(qǐng)日: 2019-08-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211603768U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田悠;藤野哲也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/035
• 分類號(hào): G02F1/035;G02F1/03
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 季瑩;方應(yīng)星

本實(shí)用新型提供一種光波導(dǎo)元件及光調(diào)制器，能夠使信號(hào)電極的寬度增大并抑制信號(hào)電極實(shí)質(zhì)上接近光波導(dǎo)或接地電極的情況，實(shí)現(xiàn)寬帶及低損失的特性的提高和小型化。光波導(dǎo)元件(10)具備：具有光波導(dǎo)(30)的基板(11)；和向在光波導(dǎo)中傳播的光波施加調(diào)制信號(hào)的信號(hào)電極(50)及接地電極(60)，光波導(dǎo)具有光調(diào)制部(36)，該光調(diào)制部具有并行的一對(duì)直線光波導(dǎo)(33a、33b)，信號(hào)電極具有配置在直線光波導(dǎo)之間的帶狀的電極主體部。電極主體部的寬度為20μm以上，在將電極主體部的寬度設(shè)為Ws、將設(shè)置在電極主體部與基板之間的襯底層中的第一金屬層的寬度設(shè)為W1、將第二金屬層的寬度設(shè)為W2的情況下，Ws≥W1W2。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光波導(dǎo)元件及具備光波導(dǎo)元件的光調(diào)制器。

背景技術(shù)

近年來(lái)，作為能實(shí)現(xiàn)寬帶且低損失的光調(diào)制特性的光波導(dǎo)元件，多使用在由鈮酸鋰(LiNbO₃)等具有電光效應(yīng)的結(jié)晶構(gòu)成的基板上設(shè)有光波導(dǎo)及控制電極的光波導(dǎo)元件。控制電極具有信號(hào)電極和接地電極，通過(guò)信號(hào)電極與接地電極的協(xié)作將高頻的電場(chǎng)作為調(diào)制信號(hào)向在基板內(nèi)的光波導(dǎo)中傳播的光波施加。

上述的由鈮酸鋰(LiNbO₃)等具有電光效應(yīng)的結(jié)晶構(gòu)成的基板根據(jù)制造時(shí)的相對(duì)于結(jié)晶方位的切割的方向而主要被分類為Z切割型和X 切割型。在此，已知有在Z切割型的基板的情況下，光波導(dǎo)配置在信號(hào)電極及接地電極的正下方，在X切割型的基板的情況下，光波導(dǎo)配置在相當(dāng)于信號(hào)電極與接地電極之間的位置的結(jié)構(gòu)(例如，專利文獻(xiàn)1 等)。這樣的各電極與光波導(dǎo)的位置關(guān)系用于使沿結(jié)晶的Z軸方向在電力線通過(guò)的部分使施加電場(chǎng)最有效地作用于光波導(dǎo)。而且，專利文獻(xiàn)1 記載有信號(hào)電極的寬度為與光波導(dǎo)的寬度相同程度的10μm左右的情況。

另一方面，已知有在基板的表面形成有從基板側(cè)按照Cr、Ni、Au 的順序?qū)盈B的由3層構(gòu)成的襯底層，在該襯底層的表面形成有與襯底層相同的寬度的由Au形成的電極的光調(diào)制器的電極結(jié)構(gòu)(例如，專利文獻(xiàn)2等)。

【在先技術(shù)文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)平10-133158號(hào)公報(bào)

【專利文獻(xiàn)2】日本特開(kāi)2000-275588號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容

【實(shí)用新型要解決的課題】

然而，近年來(lái)的光調(diào)制器除了被要求在能夠進(jìn)行進(jìn)一步的高速、大容量的光通信的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的寬帶及低損失的情況之外，還被要求小型化。因此，在光波導(dǎo)元件中，增大信號(hào)電極的寬度而擴(kuò)寬截面積有助于寬帶化，而且，縮窄信號(hào)電極與接地電極之間的間隔的情況能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。

然而，專利文獻(xiàn)1公開(kāi)那樣的基板為X切割型，在將光波導(dǎo)夾于之間地配置的電極中適用專利文獻(xiàn)2公開(kāi)那樣的電極的情況下，如果使信號(hào)電極的寬度增大，則襯底層接近光波導(dǎo)。金屬在光的波長(zhǎng)的區(qū)域中表現(xiàn)作為具有復(fù)折射率的物質(zhì)，因此如果由金屬構(gòu)成的襯底層接近光波導(dǎo)，則在光波導(dǎo)中傳播的光被襯底層吸收，產(chǎn)生導(dǎo)致光損失的問(wèn)題。

因此，本實(shí)用新型目的在于提供一種能夠使信號(hào)電極的寬度增大并抑制信號(hào)電極實(shí)質(zhì)上接近光波導(dǎo)或接地電極的情況，結(jié)果是能實(shí)現(xiàn)寬帶及低損失的特性的提高和小型化的光波導(dǎo)元件及具備光波導(dǎo)元件的光調(diào)制器。

【用于解決課題的方案】