[實用新型]光波導元件及光調制器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921399680.3
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN211603768U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設計）人: 中田悠;藤野哲也
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/03
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 季瑩;方應星

1.一種光波導元件，具備：

基板，具有電光效應，具有為了供光波傳播而形成的光波導；及

控制電極，形成于所述基板，向在所述光波導中傳播的光波施加調制信號，

所述光波導具有至少一個光調制部，該光調制部具有被施加所述調制信號的并行的一對直線光波導，

所述控制電極具有信號電極和分別配置在所述信號電極的兩側的接地電極，

所述信號電極具有配置在所述一對直線光波導之間的帶狀的電極主體部，

所述直線光波導配置在相當于所述電極主體部與所述接地電極之間的位置，

所述光波導元件的特征在于，

所述信號電極及所述接地電極分別隔著具有第二金屬層和第一金屬層的襯底層而形成在所述基板上，所述第二金屬層形成在所述基板的表面，所述第一金屬層與所述第二金屬層接合，并與所述信號電極及所述接地電極接合，

所述信號電極中的至少所述電極主體部具有20μm以上的寬度，

在將所述電極主體部的寬度設為Ws、將設置在所述電極主體部與所述基板之間的所述襯底層中的所述第一金屬層的寬度設為W1、將所述第二金屬層的寬度設為W2的情況下，Ws≥W1W2。

2.根據(jù)權利要求1所述的光波導元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2為WsW1W2，

所述電極主體部及與所述電極主體部接合的所述第一金屬層分別具有包含向所述基板側露出的角部的橫截面形狀，

所述電極主體部的所述角部形成為圓角狀的橫截面形狀。

3.根據(jù)權利要求1所述的光波導元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2為WsW1W2，

所述電極主體部及與所述電極主體部接合的所述第一金屬層分別具有包含向所述基板側露出的角部的橫截面形狀，

所述第一金屬層的所述角部形成為圓角狀的橫截面形狀。

4.根據(jù)權利要求1所述的光波導元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2為WsW1W2，

所述電極主體部及與所述電極主體部接合的所述第一金屬層分別具有包含向所述基板側露出的角部的橫截面形狀，

所述電極主體部的所述角部及所述第一金屬層的所述角部形成為圓角狀的橫截面形狀。

5.根據(jù)權利要求1所述的光波導元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2為Ws＝W1W2，

所述第一金屬層具有包含向所述基板側露出的角部的橫截面形狀，所述角部形成為圓角狀的橫截面形狀。

6.根據(jù)權利要求1～5中任一項所述的光波導元件，其特征在于，

所述Ws與所述W2之差(Ws-W2)為1～2μm。

7.根據(jù)權利要求1～5中任一項所述的光波導元件，其特征在于，

所述信號電極及所述接地電極由電阻率為2.44～1.59×10^-8Ωm的金屬構成，

所述襯底層的所述第一金屬層由電阻率為2.44～1.59×10^-8Ωm的金屬構成，

所述襯底層的所述第二金屬層由電阻率為2.82×10^-8～4.27×10^-7Ωm的過渡金屬構成。

8.一種光調制器，其特征在于，具備：

權利要求1～7中任一項所述的光波導元件；

外殼，收納所述光波導元件；及

輸入側的光傳輸單元和輸出側的光傳輸單元，與所述光波導元件光學連接，所述輸入側的光傳輸單元向所述光波導元件的所述光波導輸入光波，所述輸出側的光傳輸單元從所述光波導輸出光波。