[實用新型]激光折射鏡罩子

有效

• 申請號: 201921393040.1
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN210649104U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 陳健清;成立炯;胡平;陳朔;鄭宏
• 申請（專利權）人: 上海凸版光掩模有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種激光折射鏡罩子，激光折射鏡罩子包括底板、環形側板、激光進口、激光出口及壓縮氣進口；其中，環形側板位于底板上，且環形側板與底板形成容納腔；激光進口、激光出口及壓縮氣進口位于環形側板上，且激光進口、容納腔與激光出口相連通，壓縮氣進口與容納腔相連通。本實用新型的激光折射鏡罩子，通過激光折射鏡罩子與機器的全面覆蓋設計，可提高折射鏡的鏡面潔凈度，降低激光功率的衰減，延長光刷組件的使用壽命；進一步的，可通過壓縮氣進口向容納腔持續的進行壓縮氣充氣，以形成正壓，可更好的避免污染物進入容納腔，以進一步的提高折射鏡的鏡面潔凈度。

技術領域

本實用新型屬于半導體設備領域，涉及一種激光折射鏡罩子。

背景技術

集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術稱為光刻技術，光刻技術成為一種精密的微細加工技術。隨著半導體技術的發展，光刻技術已從常規光學技術發展到應用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術。

在激光光刻機器上設有光刷組件，光刷組件的功能是把激光源提供的一束激光通過折射鏡折射成多束激光，并以聲控模式進行調整和控制激光光束傳輸，決定激光光束是否進入光刻所使用的光路上。如在CORE激光光刻機器上，對激光光束的折射是通過折射鏡組進行的，折射鏡組由具有特設位置的三面折射鏡構成，通過這三面折射鏡可把一束激光折射成八束激光。

在激光光刻機器的使用過程中，折射鏡的鏡面需保持潔凈，如果折射鏡的鏡面有污染物存在，且污染物正好被激光擊中，則激光的熱量會把污染物焚化，且焚化后會在折射鏡的鏡面上留下燒焦痕跡，這種痕跡會導致激光功率下降，且會降低光刷組件的使用壽命，如一般光刷組件的使用壽命大概是24個月以上，環境好的情況下可維持36個月，環境如果存在污染物較多的情況下，會讓光刷組件的使用壽命出現異常的降低，如使用壽命降低至9個月～10個月。

因此，提供一種激光折射鏡罩子，以對折射鏡進行保護，提高折射鏡的鏡面潔凈度，降低激光功率的衰減，延長光刷組件的使用壽命，實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種激光折射鏡罩子，用于解決現有技術中由于使用環境中污染物所造成的激光折射鏡的鏡面污染，使得激光功率衰減、光刷組件使用壽命降低的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種激光折射鏡罩子，所述激光折射鏡罩子包括：

底板；

環形側板，所述環形側板位于所述底板上，且所述環形側板與所述底板形成容納腔；

激光進口，所述激光進口位于所述環形側板上；

激光出口，所述激光出口位于所述環形側板上，且所述激光進口、所述容納腔與所述激光出口相連通；

壓縮氣進口，所述壓縮氣進口位于所述環形側板上，且所述壓縮氣進口與所述容納腔相連通

可選地，所述環形側板的邊緣包圍所述底板的邊緣。

可選地，所述底板與所述環形側板的連接方式包括一體連接、焊接、螺紋連接、銷連接及卡扣連接中的一種。

可選地，所述壓縮氣進口與氣體壓縮機相連接，且所述壓縮氣進口與所述氣體壓縮機之間連接有控制閥。

可選地，所述控制閥包括賀爾碧格PFI閥；所述賀爾碧格PFI閥包括2.5寸賀爾碧格PFI閥。

可選地，所述底板的長度的范圍包括50mm～80mm；所述底板的寬度的范圍包括20mm～50mm；所述環形側板的高度的范圍包括10mm～40mm。

可選地，所述底板包括表面黑色砂氧化處理的AL6061底板；所述環形側板包括表面黑色砂氧化處理的AL6061環形側板。