[實用新型]激光折射鏡罩子有效
| 申請號： | 201921393040.1 | 申請日： | 2019-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN210649104U | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | 陳健清;成立炯;胡平;陳朔;鄭宏 | 申請（專利權）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/70 | 分類號： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200233 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 折射 罩子 | ||
1.一種激光折射鏡罩子，其特征在于，所述激光折射鏡罩子包括：
底板；
環形側板，所述環形側板位于所述底板上，且所述環形側板與所述底板形成容納腔；
激光進口，所述激光進口位于所述環形側板上；
激光出口，所述激光出口位于所述環形側板上，且所述激光進口、所述容納腔與所述激光出口相連通；
壓縮氣進口，所述壓縮氣進口位于所述環形側板上，且所述壓縮氣進口與所述容納腔相連通。
2.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述環形側板的邊緣包圍所述底板的邊緣。
3.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述底板與所述環形側板的連接方式包括一體連接、焊接、螺紋連接、銷連接及卡扣連接中的一種。
4.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述壓縮氣進口與氣體壓縮機相連接，且所述壓縮氣進口與所述氣體壓縮機之間連接有控制閥。
5.根據權利要求4所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述控制閥包括賀爾碧格PFI閥；所述賀爾碧格PFI閥包括2.5寸賀爾碧格PFI閥。
6.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述底板的長度的范圍包括50mm～80mm；所述底板的寬度的范圍包括20mm～50mm；所述環形側板的高度的范圍包括10mm～40mm。
7.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述底板包括表面黑色砂氧化處理的AL6061底板；所述環形側板包括表面黑色砂氧化處理的AL6061環形側板。
8.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述環形側板所圍成的形貌包括圓形及多邊形中的一種或組合。
9.根據權利要求1所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述環形側板上設置有連接孔，以通過所述連接孔固定連接所述激光折射鏡罩子。
10.根據權利要求1～9中任一所述的激光折射鏡罩子，其特征在于：所述激光折射鏡罩子包括用于CORE激光光刻機器上的激光折射鏡罩子。
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