[實用新型]微圖文轉印用真空層壓曝光裝置

有效

• 申請號: 201921378237.8
• 申請日: 2019-08-23
• 公開（公告）號: CN210348193U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 馮煜;周永南;袁順年
• 申請（專利權）人: 江陰通利光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，包括裝置主體和壓蓋，所述裝置主體包括工作臺面、設置于工作臺面底部兩側的若干組支撐腳、定位部件、壓板和設置于工作臺面的底面的若干相互平行的紫外燈；所述壓蓋包括壓蓋主體及其設置于壓蓋主體內表面的硅膠墊，所述硅膠墊的厚度為1-2cm；所述壓蓋可相對裝置主體翻轉270°，且壓蓋可停留在0°或270°位置；

在所述壓蓋主體的下沿邊緣設有若干第一限位塊和若干安裝座內嵌槽，所述第一限位塊與安裝座內嵌槽交替設置，且所述第一限位塊設有插銷孔；

所述工作臺面為上方敞口的長方體設計，包括設置于工作臺面左、右兩側面內壁的長方形滑槽，內置于工作臺面前側面并與水平面相平行的縱向滾珠絲杠滑道，內置于工作臺面右側面的橫向滾珠絲杠安裝孔，設置在工作臺面后側面頂部的若干壓蓋安裝座，以及內置于工作臺面兩側面并貫通至長方形滑槽的抽真空孔；

所述定位部件，水平設置在工作臺面的內部，呈“H”型設計，包括滑軌、平行于滑軌設置的橫向滾珠絲杠、套接在橫向滾珠絲杠兩端的第二限位塊、架設在滑軌和橫向滾珠絲杠上方的縱向滾珠絲杠滑槽、設置在縱向滾珠絲杠滑槽內部的縱向滾珠絲杠、固定設置在滑軌左端上表面的第一定位組件和套接在縱向滾珠絲杠上的第二定位組件；

所述壓板為長方形設計，且所述壓板的長度和寬度均與工作臺面的內長和內寬相一致，所述壓板設置在所述長方形滑槽的上端，壓板位于長方形滑槽所在的區域設有若干吸附孔。

2.據權利要求1所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述長方形滑槽呈水平設置，且長方形滑槽的一端與工作臺面的前側面內壁固定在一起，另一端與工作臺面的后側面的內壁固定在一起，且所述長方形滑槽的頂端距工作臺面頂端0.5-1cm。

3.據權利要求1所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述壓板為無色透明的鋼化玻璃材質。

4.據權利要求1所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述抽真空孔與所述吸附孔呈相通設置，且所述抽真空孔與外部抽真空機相連。

5.據權利要求1所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述滑軌沿所述工作臺面前側面的內壁水平設置，且所述滑軌靠近縱向滾珠絲杠滑道的下邊緣處，所述滑軌的一端延伸至工作臺面左側的長方形槽的側壁并與其固定在一起，滑軌的另一端延伸至工作臺面右側的長方形槽的側壁并與其固定在一起，在所述滑軌的兩側設有側槽，在滑軌的左端設有若干第一定位銷孔；

所述第二限位塊，緊靠長方形槽的側壁以及工作臺面后側面的內壁設置并與其固定在一起，所述第二限位塊設有第一通孔，所述第一通孔的孔徑與橫向滾珠絲杠的外直徑相一致。

6.據權利要求1所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述橫向滾珠絲杠的一端設有橫向滾珠絲杠手輪，所述橫向滾珠絲杠的另一端穿過橫向滾珠絲杠安裝孔和第二限位塊的第一通孔，從而使得橫向滾珠絲杠架設在第二限位塊和工作臺面上，且所述橫向滾珠絲杠可相對第二限位塊和工作臺面自由轉動。

7.據權利要求5所述的微圖文轉印用真空層壓曝光裝置，其特征在于，所述縱向滾珠絲杠滑槽包括縱向滾珠絲杠滑槽主體，設置在縱向滾珠絲杠滑槽主體一端下表面的第一滑塊，以及設置在縱向滾珠絲杠滑槽主體另一端的第二滑塊；所述第一滑塊門框狀設計，所述第一滑塊的內寬與所述滑軌的寬度相一致，在第一滑塊的兩端設有向內的第三限位塊，所述第三限位塊的寬度與所述側槽的深度相一致，所述第一滑塊套接在滑軌上，并可沿滑軌左右移動；所述第二滑塊設有第二通孔，所述第二通孔的孔徑與橫向滾珠絲杠的外直徑相一致，所述第二通孔套接在橫向滾珠絲杠上，位于第二限位塊的中間；

所述縱向滾珠絲杠的一端設有縱向滾珠絲杠手輪，另一端穿過長方形滑槽，并使縱向滾珠絲杠嵌入所述縱向滾珠絲杠滑槽內，所述縱向滾珠絲杠可相對縱向滾珠絲杠滑槽自由轉動。