[實用新型]晶圓夾具的分節式導電片

有效

• 申請號: 201921367383.0
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN211595828U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 邱曉明
• 申請（專利權）人: 邱曉明
• 主分類號: C25D17/06
• 分類號: C25D17/06;C25D7/12
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本實用新型為一種晶圓夾具的分節式導電片，適用于晶圓夾具，所述晶圓夾具具有夾具內蓋，以夾持晶圓，包含：多個導電片，設于所述夾具內蓋上并與所述晶圓電性連接，所述夾具內蓋具有內面，所述內面凹設多個組設槽，各所述組設槽內分別固定一個所述導電片，所述夾具內蓋為環型，各所述組設槽為彎弧型，且各所述導電片為彎弧片狀。由于各所述導電片為分節式，不僅在制作上較圓環型更為容易，也能更容易地組設于所述夾具內蓋中。更佳的是，晶圓夾具在長時間使用導致O?ring老化變形，而讓電鍍液滲入晶圓夾具內造成金屬不當附著于導電片時，能直接將附著金屬的導電片換新，而能夠繼續使用的導電片則不進行更換，由此，降低整體更換材料的成本。

技術領域

本實用新型為一種晶圓夾具的分節式導電片，特別是關于加工晶圓的輔助制具的領域。

背景技術

如圖1所示，一般電鍍晶圓時，會將晶圓夾持于晶圓夾具內，再將夾持有晶圓的晶圓夾具浸置于電鍍槽內，而晶圓夾具通電后，即可完成晶圓的電鍍作業。

一般電鍍晶圓所使用的晶圓夾具包含有夾具內蓋11，而夾具內蓋11中則裝設有環型的導電片12，在夾具內蓋11固定晶圓時，導電片12與晶圓接觸，進而在晶圓夾具通電時，電力能夠通過導電片12并導至晶圓。

然而，在制作過程上，將導電片12加工制成圓環形狀較困難，使制作出的導電片12容易產生公差，導致生產的導電片12非正圓環型；若將具有公差的導電片12組設于夾具內蓋 11，會導致導電片12與夾具內蓋11之間的配合關系不夠緊密。

其次，長期使用晶圓夾具后，晶圓夾具內的O-ring會老化變形，導致電鍍液滲入晶圓夾具內，造成導電片11上不當積聚金屬，使得導電效果不佳，因此需要更換所述導電片；然而，只要導電片11上局部積聚金屬就必須進行更換，而每次更換導電片11就必須整體更換，導致更換成本高。

實用新型內容

本實用新型的第一個目的在于，解決導電片容易因為制作公差，導致組設于夾具內蓋不穩固的問題。

本實用新型的第二個目的在于，解決導電片局部積聚金屬時，必須整體更換而造成更換成本過高的問題。

為達成前述目的，本實用新型為一種晶圓夾具的分節式導電片，適用于晶圓及夾具內蓋，而所述晶圓夾具的分節式導電片，包含：

多個導電片，設于所述夾具內蓋上并與所述晶圓電性連接，所述夾具內蓋具有內面，所述內面凹設多個組設槽，各所述組設槽內分別固定一個所述導電片，所述夾具內蓋為環型，各所述組設槽為彎弧型，且各所述導電片為彎弧片狀。

在一較佳實施例中，各所述組設槽之間的間距相等。

在一較佳實施例中，各所述導電片分別具有多個鎖固孔，再由多個螺栓通過各所述鎖固孔，以將各所述導電片鎖固于所述組設槽內。

在一較佳實施例中，各所述導電片上分別穿設多個收縮縫。

在一較佳實施例中，各所述導電片分別具有外側面，以及相對所述外側面的內側面，而各所述收縮縫皆位于所述內側面。

在一較佳實施例中，所述導電片上凹設有二凹部。

由于各所述導電片為分節式，不僅在制作上較圓環型更為容易，也能夠更容易地組設于所述夾具內蓋中。

更佳的是，晶圓夾具在長時間使用導致O-ring老化變形，而讓電鍍液滲入晶圓夾具內造成金屬不當附著于導電片時，能夠直接將附著金屬的導電片換新，而能夠繼續使用的導電片則不進行更換，由此，降低整體更換材料的成本。

附圖說明

圖1為現有技術晶圓夾具的立體分解圖。

圖2為本實用新型在一較佳實施例中的立體分解圖。

圖3為基于圖2中的局部放大圖。