[實用新型]晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921367383.0 | 申請日： | 2019-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN211595828U | 公開（公告）日： | 2020-09-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 邱曉明 | 申請（專利權(quán)）人： | 邱曉明 |
| 主分類號： | C25D17/06 | 分類號： | C25D17/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴廣志 |
| 地址： | 中國臺灣苗栗縣*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 夾具 分節(jié) 導(dǎo)電 | ||
1.一種晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，適用于晶圓及夾具內(nèi)蓋，而所述晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，包含：
多個導(dǎo)電片，設(shè)于所述夾具內(nèi)蓋上并與所述晶圓電性連接，所述夾具內(nèi)蓋具有內(nèi)面，所述內(nèi)面凹設(shè)多個組設(shè)槽，各所述組設(shè)槽內(nèi)分別固定一個所述導(dǎo)電片，所述夾具內(nèi)蓋為環(huán)型，各所述組設(shè)槽為彎弧型，且各所述導(dǎo)電片為彎弧片狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，各所述組設(shè)槽之間的間距相等。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，各所述導(dǎo)電片分別具有多個鎖固孔，再由多個螺栓通過各所述鎖固孔，以將各所述導(dǎo)電片鎖固于所述組設(shè)槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，各所述導(dǎo)電片上分別穿設(shè)多個收縮縫。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，各所述導(dǎo)電片分別具有外側(cè)面，以及相對該所述外側(cè)面的內(nèi)側(cè)面，而各所述收縮縫皆位于所述內(nèi)側(cè)面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾具的分節(jié)式導(dǎo)電片，其特征在于，所述導(dǎo)電片上凹設(shè)有二凹部。
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