[實用新型]一種旋轉靶綁定設備

有效

• 申請號: 201921362121.5
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN210481506U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 陳明恒
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B22D19/04
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 李少歡

本實用新型公開了一種旋轉靶綁定設備，包括基座，基座安裝有振動裝置，基座的安裝有工裝夾具，工裝夾具用于固定旋轉靶的尾蓋和端頭，工裝夾具包括支架、底座、延長端和固定護套，基座的側方設置有支架，旋轉靶的尾蓋安裝于底座，延長端的一端連接于旋轉靶的端頭，固定護套的一側套裝于延長端，固定護套的另一側固定于支架，基座插設有內加熱裝置，內加熱裝置位于旋轉靶的內側，旋轉靶的外側設置有外加熱裝置，外加熱裝置設置有多個外加熱部，外加熱部的一端固定于支架，外加熱部的另一端與旋轉靶的外側面間隙配合，綁定設備包括水冷環裝置。本實用新型的綁定設備，可以一次整體綁定長旋轉靶，無需分節處理，加快冷卻時間，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及旋轉靶綁定技術領域，尤其是涉及一種旋轉靶綁定設備。

背景技術

旋轉靶材呈空心圓管狀，能夠圍繞固定的條狀磁鐵組件旋轉，可360度均勻刻蝕靶面，具有利用率高，鍍膜連續性好、鍍膜成分均勻等優點。

旋轉靶材的傳統綁定方法是將直徑較大的圓筒狀靶材套在直徑相對較小的背管上，并在兩者之間注入融合的金屬銦，待冷卻后，使得旋轉靶材和背管通過凝固的銦連接成為一體，達到綁定的目的。傳統的綁定方法將旋轉靶材分多段依次綁定，該種綁定方法需要在前一段綁定的旋轉靶材冷卻后才能進行下一段旋轉靶材的綁定，綁定時間長，生產效率低，且旋轉靶材之間的連接端口多，容易在焊接過程中端口變形而出現綁定層焊料的滲漏，綁定層焊料在超聲波或其他振動設備的作用下，綁定層焊料內的氣泡或輕渣集中在連接端口處，使連接端口處的焊接效果差。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種旋轉靶綁定設備，可以一次整體綁定長旋轉靶，無需分節處理，加快冷卻時間，提高生產效率。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種旋轉靶綁定設備，包括基座，基座安裝有振動裝置，基座的安裝有工裝夾具，工裝夾具用于固定旋轉靶的尾蓋和端頭，工裝夾具包括支架、底座、延長端和固定護套，基座的側方設置有支架，旋轉靶的尾蓋安裝于底座，延長端的一端連接于旋轉靶的端頭，固定護套的一側套裝于延長端，固定護套的另一側固定于支架，基座插設有內加熱裝置，內加熱裝置位于旋轉靶的內側，旋轉靶的外側設置有外加熱裝置，外加熱裝置設置有多個外加熱部，外加熱部的一端固定于支架，外加熱部的另一端與旋轉靶的外側面間隙配合，綁定設備包括水冷環裝置，水冷環裝置設置有水冷環和水循環裝置，水冷環活動套設于旋轉靶，水循環裝置包括升降機構、循環池和連接水管，升降機構安裝于旋轉靶的上方，水冷環滑動連接于升降機構，循環池位于基座的下側，連接水管的一端連接循環池，連接水管的另一端連接水冷環。

進一步的技術方案中，所述水冷環包括環體，環體內設置有中空的儲水腔，儲水腔貫穿于整個環體的內側，環體的底面設置有多個噴水孔，噴水孔連接于儲水腔，環體的側面設置有進水部，進水部為一中空管體，進水部的一端連接于儲水腔，進水部的另一端連接所述水循環裝置。

進一步的技術方案中，所述環體的底面設置有一噴水面，噴水面向環體的頂面方向傾斜設定角度，所述噴水孔設置于噴水面，環體的底面的外側設置有一間隔面，環體的底面內側設置有噴水面，環體的側面的相對兩側各設置有升降連接部，升降連接部包括有兩個固定片，固定片的一端固定連接于環體的側面，固定片的另一端設置有一升降連接孔，所述水循環裝置包括水泵，所述連接水管的一端連接所述進水部的端口，連接水管的另一端連接水泵的出水口，水泵的進水口連接所述循環池，循環池用于收集并盛裝冷卻所述旋轉靶的液體，所述水冷環滑動于循環池的上方。