[實用新型]一種單晶硅制絨裝置

有效

• 申請號: 201921360036.5
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN210296311U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 陳燕;常紀鵬;何鳳琴;張志郢;楊超;王冬冬;張敏;李得銀
• 申請（專利權）人: 青海黃河上游水電開發有限責任公司光伏產業技術分公司;黃河水電光伏產業技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

1.一種單晶硅制絨裝置，其特征在于，包括對原始硅片進行前酸清洗的前酸洗槽、對前酸清洗后的硅片進行第一次純水清洗的第一純水清洗槽、對第一次純水清洗后的硅片進行表面預清洗處理的前清洗槽、對預清洗處理后的硅片進行粗拋處理的粗拋槽、對粗拋后的硅片進行堿清洗處理的堿清洗槽、對堿清洗處理后的硅片進行第二次純水清洗的第二純水清洗槽、對第一次純水清洗后的硅片進行制絨處理的制絨槽、對制絨后的硅片進行第三次純水清洗的第三純水清洗槽、對第三次純水清洗后的硅片進行表面后清洗處理的后清洗槽、對表面后清洗的硅片進行第四次純水清洗的第四純水清洗槽、對第四次純水清洗后的硅片進行后酸清洗處理的后酸洗槽、對后酸清洗處理后的硅片進行第五次純水清洗的第五純水清洗槽、對第五次純水清洗后的硅片進行預脫水的慢提拉槽、對預脫水后的硅片進行烘干處理的烘干槽。