[實(shí)用新型]一種晶硅粗磨精磨一體機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921358052.0
• 申請(qǐng)日: 2019-08-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210968306U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭世鋒;徐公志;尹美玲;王永華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島高測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B27/00
• 分類號(hào): B24B27/00;B24B41/00;B24B47/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B9/06;B24B5/50;B24B5/04;B24B49/02
• 代理公司: 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11624
• 代理人: 郭智

本實(shí)用新型涉及一種晶硅粗磨精磨一體機(jī)，屬于晶硅加工設(shè)備領(lǐng)域，包括底座和滑軌，滑軌設(shè)置在底座上，沿著滑軌的長(zhǎng)度方向依次設(shè)置：粗磨區(qū)、晶硅轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)和精磨區(qū)，所述粗磨區(qū)和精磨區(qū)之間設(shè)置有晶硅轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，所述粗磨區(qū)和精磨區(qū)均設(shè)有用于夾持晶硅的磨削進(jìn)給工作臺(tái)機(jī)構(gòu)和至少兩組磨頭進(jìn)給組件，所述磨削進(jìn)給工作臺(tái)機(jī)構(gòu)位于所述滑軌上并與滑軌滑動(dòng)連接，位于粗磨區(qū)和精磨區(qū)的至少兩組磨頭進(jìn)給組件對(duì)稱的設(shè)置于滑軌兩側(cè)，形成供晶硅通過(guò)并磨削晶硅的磨削通道，本實(shí)用新型通過(guò)粗磨區(qū)和精磨區(qū)分別對(duì)晶硅進(jìn)行粗磨和精磨加工，且可同時(shí)對(duì)不同的晶硅進(jìn)行粗磨和精磨加工，工作效率提高一倍。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于晶硅加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)涉及一種晶硅粗磨精磨一體機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有市場(chǎng)上的設(shè)備基本都是對(duì)面及圓弧的加工粗磨、精磨是分開(kāi)分工序進(jìn)行的，每次只能加工兩個(gè)面，磨削效率低。粗磨及精磨由于處于兩個(gè)位置，導(dǎo)致粗磨后精磨余量大，效率低，因此怎樣能夠快速的對(duì)切方后的晶硅進(jìn)行需粗磨和精磨加工是我們需要解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的種種不足，現(xiàn)提出一種對(duì)切方后的單晶硅棒，進(jìn)行磨面拋光倒角，滿足不同規(guī)格單晶硅方棒進(jìn)行弧、面一體拋光，四面磨削、單面、單弧單獨(dú)加工控制功能的粗磨精磨一體機(jī)，可在同臺(tái)設(shè)備自動(dòng)完成硅錠的磨面和滾圓。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種晶硅粗磨精磨一體機(jī)，包括底座和滑軌，滑軌設(shè)置在底座上，沿著滑軌的長(zhǎng)度方向依次設(shè)置：粗磨區(qū)、晶硅轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)和精磨區(qū)，所述粗磨區(qū)和精磨區(qū)均設(shè)有用于夾持晶硅的磨削進(jìn)給工作臺(tái)機(jī)構(gòu)和至少兩組磨頭進(jìn)給組件，所述磨削進(jìn)給工作臺(tái)機(jī)構(gòu)與滑軌滑動(dòng)連接，用于夾持并輸送晶硅，位于粗磨區(qū)和精磨區(qū)的至少兩組磨頭進(jìn)給組件對(duì)稱的設(shè)置于滑軌兩側(cè)，形成供晶硅通過(guò)并磨削晶硅的磨削通道。

進(jìn)一步，所述粗磨區(qū)還包括粗磨頭組件、上料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)和對(duì)中機(jī)構(gòu)；所述粗磨頭組件通過(guò)粗磨主軸與所述磨頭進(jìn)給組件連接；所述上料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)設(shè)置在滑軌的一側(cè)，其用于承載晶硅，并將晶硅輸送至滑軌上方；所述對(duì)中機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述上料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)與滑軌之間，以對(duì)位于上料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上的晶硅進(jìn)行對(duì)中操作，使晶硅的長(zhǎng)度方向與滑軌平行；

所述晶硅轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)沿著與滑軌相垂直的方向設(shè)置，用于將粗磨完畢的晶硅轉(zhuǎn)移至精磨區(qū)；

所述精磨區(qū)還包括精磨頭組件和下料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)；所述精磨頭組件通過(guò)精磨主軸與所述磨頭進(jìn)給組件連接；所述下料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)設(shè)置在滑軌的一側(cè)，用于承載精磨完畢的晶硅。

進(jìn)一步，所述上料工作臺(tái)機(jī)構(gòu)包括上料支撐座、上料支撐板、上料工作臺(tái)和上料豎直升降絲杠，所述上料支撐座的底部與底座固連，所述上料支撐座上豎直設(shè)置有上料豎直滑軌，且所述上料支撐板沿水平方向設(shè)置，其通過(guò)上料豎直升降絲杠與上料支撐座在豎直方向滑動(dòng)連接，所述上料支撐板上設(shè)有水平向的上料工作臺(tái)，所述上料工作臺(tái)通過(guò)水平向的上料絲杠與上料支撐板滑動(dòng)連接，且其上部固設(shè)有晶硅支撐板，用于支撐晶硅，所述晶硅支撐板靠近滑軌的一側(cè)設(shè)有靠板，其另一側(cè)設(shè)有晶硅夾緊板，所述靠板和晶硅夾緊板均沿豎直方向設(shè)置，且晶硅夾緊板與水平驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞端固連，以推動(dòng)晶硅夾緊板與晶硅相貼并與晶硅夾緊板相配合將晶硅調(diào)整至與導(dǎo)軌相平行。

進(jìn)一步，所述對(duì)中機(jī)構(gòu)包括對(duì)中支撐柱、對(duì)中夾緊板和對(duì)中夾緊滑軌，所述對(duì)中夾緊板相對(duì)的設(shè)置兩個(gè)，且其豎直設(shè)置，所述對(duì)中支撐柱的底部與底座固連，所述對(duì)中夾緊滑軌固設(shè)于對(duì)中支撐柱的上部并與滑軌相平行，兩個(gè)對(duì)中夾緊板通過(guò)齒輪齒條相嚙合并沿對(duì)中夾緊滑軌滑動(dòng)以?shī)A持晶硅，使晶硅的中心與晶硅支撐板中心位于同一豎直線上。

進(jìn)一步，所述磨削進(jìn)給工作臺(tái)機(jī)構(gòu)包括磨削進(jìn)給底座、頭架組件、尾架組件和尾架進(jìn)給絲杠，所述磨削進(jìn)給底座設(shè)置在滑軌上，其通過(guò)磨削進(jìn)給絲杠與滑軌滑動(dòng)連接，所述頭架組件和尾架組件相對(duì)的設(shè)置于所述磨削進(jìn)給底座上，且所述頭架組件與磨削進(jìn)給底座固連，所述尾架組件通過(guò)尾架進(jìn)給絲杠與磨削進(jìn)給底座滑動(dòng)連接；