[實用新型]一種晶硅粗磨精磨一體機

有效

• 申請號: 201921358052.0
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN210968306U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 郭世鋒;徐公志;尹美玲;王永華
• 申請（專利權）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B41/00;B24B47/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B9/06;B24B5/50;B24B5/04;B24B49/02
• 代理公司: 北京卓嵐智財知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11624
• 代理人: 郭智

1.一種晶硅粗磨精磨一體機，包括底座(1)和滑軌(2)，滑軌(2)設置在底座(1)上，其特征在于，沿著滑軌(2)的長度方向依次設置：粗磨區、晶硅轉移機構(3)和精磨區，所述粗磨區和精磨區均設有用于夾持晶硅的磨削進給工作臺機構(4)和至少兩組磨頭進給組件(5)，所述磨削進給工作臺機構(4)位于所述滑軌(2)上并與滑軌(2)滑動連接，位于粗磨區和精磨區的至少兩組磨頭進給組件(5)對稱的設置于滑軌(2)兩側，形成供晶硅通過并磨削晶硅的磨削通道。

2.根據權利要求1所述的一種晶硅粗磨精磨一體機，其特征在于，所述粗磨區還包括粗磨頭組件(6)、上料工作臺機構(7)和對中機構(8)；所述粗磨頭組件(6)通過粗磨主軸與所述磨頭進給組件(5)連接；所述上料工作臺機構(7)設置在滑軌(2)的一側，其用于承載晶硅，并將晶硅輸送至滑軌(2)上方；所述對中機構(8)設置在所述上料工作臺機構(7)與滑軌(2)之間，以對位于上料工作臺機構(7)上的晶硅進行對中操作，使晶硅的長度方向與滑軌(2)平行；

所述晶硅轉移機構(3)沿著與滑軌(2)相垂直的方向設置，用于將粗磨完畢的晶硅轉移至精磨區；

所述精磨區還包括精磨頭組件(9)和下料工作臺機構(10)；所述精磨頭組件(9)通過精磨主軸與所述磨頭進給組件(5)連接；所述下料工作臺機構(10)設置在滑軌(2)的一側，用于承載精磨完畢的晶硅。

3.根據權利要求2所述的一種晶硅粗磨精磨一體機，其特征在于，所述上料工作臺機構(7)包括上料支撐座(701)、上料支撐板(702)、上料工作臺(703)和上料豎直升降絲杠，所述上料支撐座(701)的底部與底座(1)固連，所述上料支撐座(701)上豎直設置有上料豎直滑軌，且所述上料支撐板(702)沿水平方向設置，其通過上料豎直升降絲杠與上料支撐座(701)在豎直方向滑動連接，所述上料支撐板(702)上設有水平向的上料工作臺(703)，所述上料工作臺(703)通過水平向的上料絲杠與上料支撐板(702)滑動連接，且其上部固設有晶硅支撐板(704)，用于支撐晶硅，所述晶硅支撐板(704)靠近滑軌(2)的一側設有靠板(705)，其另一側設有晶硅夾緊板(706)，所述靠板(705)和晶硅夾緊板(706)均沿豎直方向設置，且晶硅夾緊板(706)與水平驅動氣缸的活塞端固連，以推動晶硅夾緊板(706)與晶硅相貼并與晶硅夾緊板(706)相配合將晶硅調整至與導軌相平行。

4.根據權利要求3所述的一種晶硅粗磨精磨一體機，其特征在于，所述對中機構(8)包括對中支撐柱(801)、對中夾緊板(802)和對中夾緊滑軌(803)，所述對中夾緊板(802)相對的設置兩個，且其豎直設置，所述對中支撐柱(801)的底部與底座(1)固連，所述對中夾緊滑軌(803)固設于對中支撐柱(801)的上部并與滑軌(2)相平行，兩個對中夾緊板(802)通過齒輪齒條相嚙合并沿對中夾緊滑軌(803)滑動以夾持晶硅，使晶硅的中心與晶硅支撐板(704)的中心位于同一豎直線上。

5.根據權利要求4所述的一種晶硅粗磨精磨一體機，其特征在于，所述磨削進給工作臺機構(4)包括磨削進給底座(401)、頭架組件(402)、尾架組件(403)和尾架進給絲杠(404)，所述磨削進給底座(401)設置在滑軌(2)上，其通過磨削進給絲杠與滑軌(2)滑動連接，所述頭架組件(402)和尾架組件(403)相對的設置于所述磨削進給底座(401)上，且所述頭架組件(402)與磨削進給底座(401)固連，所述尾架組件(403)通過尾架進給絲杠(404)與磨削進給底座(401)滑動連接；

所述頭架組件(402)包括頭架夾頭和頭架旋轉電機，所述頭架夾頭與頭架旋轉電機連接，所述尾架組件(403)包括尾架夾頭和尾架旋轉電機，所述尾架夾頭與尾架旋轉電機連接，所述頭架夾頭和尾架夾頭均位于同一直線上，且兩者均與滑軌(2)相平行，所述頭架夾頭和尾架夾頭同時轉動，用于將晶硅進行旋轉；

所述頭架組件(402)設置于靠近所述晶硅轉移機構(3)的一端，所述尾架組件(403)設置于遠離所述晶硅轉移機構(3)的一端。