[實用新型]一種真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置

有效

• 申請號: 201921352152.2
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN210550129U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 余華駿;張青濤;解孝輝;王發展
• 申請（專利權）人: 吳江南玻華東工程玻璃有限公司;中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: B24B15/00
• 分類號: B24B15/00;B24B41/02;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 吳芳

本實用新型公開一種真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置，其包括主體框架、驅動機構、至少一個研磨機構及傳動機構；驅動機構包括第一驅動機構，第一驅動機構與傳動機構連接；傳動機構包括帶輪及皮帶，第一驅動機構驅動帶輪轉動，在帶輪的帶動下，皮帶移動；每一個研磨機構包括上下相對設置的基板和支撐板以及設置在支撐板下的研磨件，基板與皮帶連接，研磨機構與主體框架通過導軌軸承連接；主體框架下設置有導軌，導軌軸承的一端與基板連接，另一端與導軌滑動配合，在傳動機構的傳動作用下，研磨機構隨著皮帶的移動而沿導軌移動。本實用新型設計的研磨裝置，通過設置導軌、傳動機構和研磨機構，可實現自動化研磨，生產效率高，省時省力。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜玻璃生產制造領域，尤其涉及一種真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置。

背景技術

在現有技術中，鍍膜玻璃采用真空磁控濺射技術，靶材安裝在陰極蓋板上，陰極蓋板安裝在腔室上，在陰極蓋板和腔室之間有一層密封面，表面極其光滑，用來保證密封接觸良好。每個保養周期要對密封面進行研磨，以保證光潔的密封面及優秀的密封效果。目前采用純人工的方式進行研磨，研磨進度不受控，研磨質量不能保證。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置，實現自動化研磨，提高生產效率，所述技術方案如下：

本實用新型提供一種真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置，其包括主體框架、驅動機構、設置在所述主體框架下的至少一個研磨機構以及傳動機構；所述驅動機構包括第一驅動機構，所述第一驅動機構與傳動機構連接；所述傳動機構包括設置在所述主體框架下表面邊沿的帶輪以及繞設在所述帶輪上的皮帶，所述第一驅動機構驅動帶輪轉動，在所述帶輪的帶動下，所述皮帶移動；每一個研磨機構包括上下相對設置的基板和支撐板以及設置在所述支撐板下的研磨件，所述研磨件用于打磨腔室密封面，所述基板與皮帶連接，所述研磨機構與主體框架通過導軌軸承連接；所述主體框架下設置有導軌，所述導軌軸承的一端與所述基板連接，另一端與所述導軌滑動配合，在所述傳動機構的傳動作用下，所述研磨機構隨著皮帶的移動而沿導軌移動。

進一步地，所述導軌上設置有導向槽，所述導軌軸承的一端設置在導向槽內，所述導軌軸承能夠沿著導向槽移動。

進一步地，所述導軌軸承與基板通過第一緊固件連接。

進一步地，所述皮帶上開設有安裝孔，通過在安裝孔內安裝第二緊固件將所述基板與皮帶固定連接。

進一步地，所述驅動機構還包括第二驅動機構，第二驅動機構用于驅動研磨件上下移動。

進一步地，所述第二驅動機構為氣缸，所述氣缸與研磨件連接，且所述氣缸設置在所述基板和支撐板之間。

進一步地，所述研磨件為盤狀結構。

進一步地，所述基板和支撐板之間通過連接件連接，且所述連接件外套設有彈性件。

進一步地，所述研磨件朝向待打磨的腔室密封面方向的一端設置有可拆卸的砂布。

進一步地，每一個研磨機構中所述導軌軸承的數量設置為四個。

本實用新型提供的技術方案帶來的有益效果如下：

本實用新型設計的真空磁控濺射設備腔室密封面研磨裝置，通過設置導軌、傳動機構和研磨機構，可實現完全自動化研磨，生產效率高，省時省力，研磨效果優于人工研磨。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。