[實用新型]自動搖芯片機構有效
| 申請號: | 201921349422.4 | 申請日: | 2019-08-19 |
| 公開(公告)號: | CN210349799U | 公開(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發明(設計)人: | 李賢海 | 申請(專利權)人: | 蘇州卓姆森電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215100 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 動搖 芯片 機構 | ||
1.一種自動搖芯片機構,其特征在于,包括:承載平臺、設置在承載平臺底部的擺動機構和設置在承載平臺上的芯片刮板,其中,所述承載平臺包括:與擺動機構連接的外框和設置在所述外框中的載臺,其中,所述載臺上設置有芯片承載盤,所述芯片承載盤由限位機構定位在所述載臺上,且所述載臺和所述芯片承載盤的邊緣與所述外框的側壁緊密連接,所述芯片刮板的中部設置有橡膠刷毛,所述芯片刮板的兩端分別與設置在所述外框的側壁上的行走機構連接。
2.如權利要求1所述的自動搖芯片機構,其特征在于,所述載臺內設置有真空吸附腔,該真空吸附腔上設置有與芯片承載盤位置對應的開口。
3.如權利要求1所述的自動搖芯片機構,其特征在于,所述限位機構采用壓塊,所述壓塊設置在外框側壁的四個拐角處。
4.如權利要求1所述的自動搖芯片機構,其特征在于,所述行走機構采用電機、與所述電機連接的絲桿以及在絲桿上的絲桿滾珠,所述絲桿滾珠與所述芯片刮板連接,所述電機和絲桿均通過安裝座固定在所述外框側壁上。
5.如權利要求1所述的自動搖芯片機構,其特征在于,所述擺動機構包括固定在所述外框底部的半圓形齒輪、與所述半圓形齒輪嚙合的齒條以及驅動所述齒條來回往復運動的驅動件。
6.如權利要求5所述的自動搖芯片機構,其特征在于,所述齒條的底部設置有直線滑軌。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





