[實用新型]一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201921346168.2
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN210506515U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 姜輝
• 申請（專利權）人: 姜輝
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C30B25/02;C30B29/54
• 代理公司: 蘇州和氏璧知識產權代理事務所(普通合伙) 32390
• 代理人: 李曉星

1.一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，包括工作臺（9）和垂直移動系統（8），其特征在于，所述工作臺（9）的頂部通過粘接固定有玻璃外套管（2），所述玻璃外套管（2）的頂端連接有出氣金屬連接器（1），所述垂直移動系統（8）的頂端穿過工作臺（9）活動連接在玻璃外套管（2）的內部，所述垂直移動系統（8）的頂端位于玻璃外套管（2）的內部固定有反應容器（7），所述反應容器（7）的頂部中心處通過玻璃燒結工藝形成圓錐形小孔（11），所述反應容器（7）的外側套接固定有加熱系統（3），所述工作臺（9）上位于垂直移動系統（8）的一側設置有與玻璃外套管（2）連通的進氣金屬連接器（10）。

2.根據權利要求1所述的一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述加熱系統（3）包括有第一電熱絲（4）、第二電熱絲（5）、第三電熱絲（6）、第三接頭（12）、第二接頭（13）、第一接頭（14）和玻璃內套管（15），所述玻璃內套管（15）套接固定在反應容器（7）的外側，所述玻璃內套管（15）上等距離纏繞有第一電熱絲（4）、第二電熱絲（5）和第三電熱絲（6），所述第一電熱絲（4）與玻璃外套管（2）上的第一接頭（14）連接，所述第二電熱絲（5）與玻璃外套管（2）上的第二接頭（13）連接，所述第三電熱絲（6）與玻璃外套管（2）上的第三接頭（12）連接。

3.根據權利要求2所述的一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述玻璃內套管（15）為一種兩端開口的玻璃管，且玻璃內套管（15）的內徑略大于內部反應容器（7）的外徑。

4.根據權利要求2所述的一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述玻璃內套管（15）的內外層分別包裹絕熱絕緣層。

5.根據權利要求1所述的一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述反應容器（7）為一種底部封閉，頂部設有圓錐形小孔（11）的玻璃管。