[實(shí)用新型]一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921346168.2
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN210506515U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜輝
• 申請（專利權(quán)）人: 姜輝
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C30B25/02;C30B29/54
• 代理公司: 蘇州和氏璧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32390
• 代理人: 李曉星

本實(shí)用新型公開了一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置，包括工作臺和垂直移動系統(tǒng)，所述工作臺的頂部通過粘接固定有玻璃外套管，所述玻璃外套管的頂端連接有出氣金屬連接器，所述垂直移動系統(tǒng)的頂端穿過工作臺活動連接在玻璃外套管的內(nèi)部，所述垂直移動系統(tǒng)的頂端位于玻璃外套管的內(nèi)部固定有反應(yīng)容器，所述反應(yīng)容器的頂部中心處通過玻璃燒結(jié)工藝形成圓錐形小孔，所述反應(yīng)容器的外側(cè)套接固定有加熱系統(tǒng)，所述工作臺上位于垂直移動系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)置有與玻璃外套管連通的進(jìn)氣金屬連接器。本實(shí)用新型能有效提升有機(jī)固?固反應(yīng)的效率和產(chǎn)率，降低系統(tǒng)的制造成本及使用成本，同時(shí)對環(huán)境友好，實(shí)現(xiàn)綠色無污染的有機(jī)固?固反應(yīng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光電子學(xué)及能源技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置。

背景技術(shù)

相對于傳統(tǒng)的無機(jī)半導(dǎo)體，有機(jī)小分子半導(dǎo)體是一種新型半導(dǎo)體材料，其主要優(yōu)點(diǎn)包括制造成本低，大面積合成，柔性等。最新研究表明一些有機(jī)小分子具有優(yōu)異的半導(dǎo)體性能，在有機(jī)晶體管，有機(jī)太陽能電池，有機(jī)電池，有機(jī)電容器等反面具有廣泛的應(yīng)用前景。例如，含硫有機(jī)并苯類小分子在電池應(yīng)用方面的研究表明，其有希望媲美許多成熟的傳統(tǒng)無機(jī)電池電極材料，具有大規(guī)模應(yīng)用的潛在優(yōu)勢。

目前，含硫有機(jī)并苯類小分子的合成主要集中在實(shí)驗(yàn)室，大量有機(jī)溶劑的使用，尤其一些有毒試劑的使用使得合成成本較高，同時(shí)，實(shí)驗(yàn)室量級的合成產(chǎn)率較低，產(chǎn)量很少，純度較低，無法滿足潛在商用的要求。化學(xué)氣相沉積是一種材料制備裝置，它能實(shí)現(xiàn)原材料在一定的氣相狀態(tài)下升華并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，獲得目標(biāo)材料。化學(xué)氣相沉積能夠在無溶劑狀態(tài)下合成有機(jī)并苯類小分子，廣泛應(yīng)用于一些半導(dǎo)體材料的生長，具有有效的重復(fù)性和穩(wěn)定性。其缺點(diǎn)是產(chǎn)率和產(chǎn)量無法控制，成本仍然較高。結(jié)果，需要持續(xù)改進(jìn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和方法以獲得高產(chǎn)率、高產(chǎn)量、低成本、高純度有機(jī)含硫并苯類小分子材料。因此，設(shè)計(jì)一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置是很有必要的。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置能有效提升有機(jī)固-固反應(yīng)的效率和產(chǎn)率，降低系統(tǒng)的制造成本及使用成本，同時(shí)對環(huán)境友好，實(shí)現(xiàn)綠色無污染的有機(jī)固-固反應(yīng)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種有機(jī)半導(dǎo)體晶體的多溫區(qū)化學(xué)氣相沉積裝置，包括工作臺和垂直移動系統(tǒng)，所述工作臺的頂部通過粘接固定有玻璃外套管，所述玻璃外套管的頂端連接有出氣金屬連接器，所述垂直移動系統(tǒng)的頂端穿過工作臺活動連接在玻璃外套管的內(nèi)部，所述垂直移動系統(tǒng)的頂端位于玻璃外套管的內(nèi)部固定有反應(yīng)容器，所述反應(yīng)容器的頂部中心處通過玻璃燒結(jié)工藝形成圓錐形小孔，所述反應(yīng)容器的外側(cè)套接固定有加熱系統(tǒng)，所述工作臺上位于垂直移動系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)置有與玻璃外套管連通的進(jìn)氣金屬連接器。

優(yōu)選的，所述加熱系統(tǒng)包括有第一電熱絲、第二電熱絲、第三電熱絲、第三接頭、第二接頭、第一接頭和玻璃內(nèi)套管，所述玻璃內(nèi)套管套接固定在反應(yīng)容器的外側(cè)，所述玻璃內(nèi)套管上等距離纏繞有第一電熱絲、第二電熱絲和第三電熱絲，所述第一電熱絲與玻璃外套管上的第一接頭連接，所述第二電熱絲與玻璃外套管上的第二接頭連接，所述第三電熱絲與玻璃外套管上的第三接頭連接。

優(yōu)選的，所述玻璃內(nèi)套管為一種兩端開口的玻璃管，且玻璃內(nèi)套管的內(nèi)徑略大于內(nèi)部反應(yīng)容器的外徑。

優(yōu)選的，所述玻璃內(nèi)套管的內(nèi)外層分別包裹絕熱絕緣層。

優(yōu)選的，所述反應(yīng)容器為一種底部封閉，頂部設(shè)有圓錐形小孔的玻璃管。