[實用新型]一種半導體生產用封裝設備有效
| 申請號: | 201921344470.4 | 申請日: | 2019-08-19 |
| 公開(公告)號: | CN210073785U | 公開(公告)日: | 2020-02-14 |
| 發明(設計)人: | 黃偉明 | 申請(專利權)人: | 江西駿川半導體設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 11616 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 | 代理人: | 范國剛 |
| 地址: | 344000 江西省撫州市臨川*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 封裝設備 防塵罩 本實用新型 減速電機 彈簧線 螺紋桿 支撐桿 半導體生產 頂部設置 防塵效果 防滑機構 內表面 萬向輪 照明燈 保證 維護 | ||
1.一種半導體生產用封裝設備,包括封裝設備本體(1)與設置在封裝設備本體(1)底部的若干萬向輪(2),其特征在于,所述封裝設備本體(1)的底部設置有防滑機構(3),所述封裝設備本體(1)的后端外表面設置有螺紋桿(4),且螺紋桿(4)的兩側均設置有支撐桿(5),兩個所述支撐桿(5)的頂部固定安裝有同一個三項減速電機(6),所述封裝設備本體(1)的頂部設置有防塵罩(7),且防塵罩(7)的內表面安裝有若干照明燈(8),所述防塵罩(7)與封裝設備本體(1)之間設置有第一彈簧線(9),所述三項減速電機(6)與封裝設備本體(1)之間設置有第二彈簧線(10),所述防塵罩(7)上固定有滑套管(11)與螺母(12),兩個所述支撐桿(5)的底部固定連接有同一個固定板(13),所述固定板(13)上固定安裝有軸承座(14),所述防滑機構(3)包括支撐板(16)與擠壓板(17),且支撐板(16)與擠壓板(17)之間設置有若干壓縮彈簧(18),所述擠壓板(17)的底端外表面設置有若干防滑齒(19),所述支撐板(16)的頂部設置有推桿電機(20),且推桿電機(20)上設置有安裝架(15),所述推桿電機(20)的輸出軸上固定有連接板(21),且連接板(21)上設置有連接螺栓(22)。
2.根據權利要求1所述的一種半導體生產用封裝設備,其特征在于,所述封裝設備本體(1)的底端外表面開設有收納槽,所述防滑機構(3)位于收納槽的內部。
3.根據權利要求1所述的一種半導體生產用封裝設備,其特征在于,所述螺紋桿(4)的頂部與三項減速電機(6)的輸出軸固定連接,且螺紋桿(4)的底部活動安裝在軸承座(14)上。
4.根據權利要求1所述的一種半導體生產用封裝設備,其特征在于,所述連接板(21)通過連接螺栓(22)與支撐板(16)相連接,所述推桿電機(20)通過安裝架(15)固定安裝在封裝設備本體(1)的后端外表面。
5.根據權利要求1所述的一種半導體生產用封裝設備,其特征在于,所述固定板(13)固定安裝在封裝設備本體(1)的后端外表面,所述螺母(12)螺紋連接在螺紋桿(4)上,所述滑套管(11)滑動套接在支撐桿(5)上。
6.根據權利要求1所述的一種半導體生產用封裝設備,其特征在于,所述封裝設備本體(1)上安裝有開關,所述照明燈(8)、開關與推桿電機(20)均與外接電源電性連接,開關與三項減速電機(6)電性連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





