[實用新型]卡盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921339469.2
• 申請日: 2019-08-16
• 公開（公告）號: CN210092056U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張君君
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種卡盤，其特征在于，包括：

晶圓載臺，用于水平放置晶圓，包括至少兩個子載臺，且所有所述子載臺承載同一晶圓；

驅(qū)動器，數(shù)目與所述子載臺的數(shù)目一致，每一驅(qū)動器對應連接至一子載臺，用于分別驅(qū)動所述子載臺在豎直方向上運動，使所述晶圓保持水平狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤，其特征在于，還包括：

控制器，連接至所述驅(qū)動器，用于控制驅(qū)動器對所述子載臺的驅(qū)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的卡盤，其特征在于，還包括：

調(diào)平傳感器，連接至所述控制器，用于檢測所述晶圓的調(diào)平情況，并將所述晶圓的調(diào)平情況提供給所述控制器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的卡盤，其特征在于，還包括：

吸附單元，設(shè)置至所述子載臺，連接至所述控制器，用于根據(jù)所述控制器的控制，給所述晶圓提供一吸附力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的卡盤，其特征在于，所述吸附單元的數(shù)目與所述子載臺的數(shù)目一致，每一吸附單元對應設(shè)置至一子載臺。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的卡盤，其特征在于，每一吸附單元都連接至所述控制器，由所述控制器分別對各個吸附單元進行控制。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤，其特征在于，所述子載臺的數(shù)目至少為100個。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤，其特征在于，所述驅(qū)動器包括驅(qū)動馬達和驅(qū)動軸，所述驅(qū)動軸的一端連接至所述子載臺，另一端連接至所述驅(qū)動馬達，在所述驅(qū)動馬達的驅(qū)動下伸縮，從而控制所述子載臺升降。