[實(shí)用新型]一種光刻機(jī)光源裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921322791.4 | 申請(qǐng)日： | 2019-08-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN210954608U | 公開（公告）日： | 2020-07-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 唐陽(yáng)明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海圖雙精密裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 光刻 光源 裝置 | ||
1.一種光刻機(jī)光源裝置，包括不銹鋼架(1)和控制系統(tǒng)(30)，其特征在于：所述不銹鋼架(1)內(nèi)表面通過(guò)螺釘與冷卻裝置(11)固定連接，所述冷卻裝置(11)一側(cè)與光源單元板組合架(3)間隙配合，所述不銹鋼架(1)一側(cè)通過(guò)螺釘與光源單元板組合架(3)固定連接，所述光源單元板組合架(3)一側(cè)與透鏡(2)間隙配合，所述透鏡(2)一側(cè)通過(guò)螺釘與不銹鋼架(1)固定連接，所述透鏡(2)內(nèi)表面通過(guò)螺釘與光電傳感器(34)固定連接，所述透鏡(2)外表面通過(guò)螺釘與處理器(33)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述光源單元板組合架(3)還包括光源單元板A(4)、光源單元板B(5)、光源單元板C(6)、光源單元板D(7)和固定塊(10)，所述光源單元板A(4)一端設(shè)置有固定塊(10)，所述光源單元板B(5)一端設(shè)置有固定塊(10)，所述光源單元板C(6)一端設(shè)置有固定塊(10)，所述光源單元板D(7)一端設(shè)置有固定塊(10)，所述固定塊(10)通過(guò)螺釘與光源單元板組合架(3)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述光源單元板A(4)還包括固定槽(8)、LED燈(9)和調(diào)光器(35)，所述光源單元板A(4)一側(cè)設(shè)置有固定槽(8)，所述固定槽(8)內(nèi)表面與LED燈(9)法蘭連接，所述LED燈(9)一側(cè)通過(guò)電線與調(diào)光器(35)電性連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述冷卻裝置(11)還包括分層內(nèi)隔板(12)、冷卻板一(13)、冷卻板二(14)、循環(huán)水通道板A(15)和冷卻板三(16)，所述冷卻板一(13)一端通過(guò)螺釘與冷卻板二(14)固定連接，所述冷卻板一(13)另一端通過(guò)螺釘與分層內(nèi)隔板(12)固定連接，所述冷卻板二(14)一端通過(guò)螺釘與冷卻板三(16)固定連接，所述冷卻板一(13)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板A(15)固定連接，所述冷卻板二(14)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板A(15)固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述冷卻裝置(11)還包括分層內(nèi)隔板(12)、冷卻板三(16)、冷卻板四(17)、循環(huán)水通道板B(18)、冷卻板五(19)、冷卻板六(20)、循環(huán)水通道板C(21)和出水管(28)，所述冷卻板五(19)一端通過(guò)螺釘與冷卻板四(17)固定連接，所述冷卻板五(19)另一端通過(guò)螺釘與冷卻板六(20)固定連接，所述冷卻板六(20)一端通過(guò)螺釘與分層內(nèi)隔板(12)固定連接，所述冷卻板四(17)一端通過(guò)螺釘與冷卻板三(16)固定連接，所述分層內(nèi)隔板(12)一側(cè)與出水管(28)法蘭連接，所述冷卻板三(16)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板B(18)固定連接，所述冷卻板四(17)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板B(18)固定連接，所述冷卻板五(19)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板C(21)固定連接，所述冷卻板六(20)一側(cè)通過(guò)螺釘與循環(huán)水通道板C(21)固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述冷卻裝置(11)還包括外殼(22)、空腔(23)、進(jìn)水口(24)、不銹鋼隔離板(26)、限位槽(27)和通孔(29)，所述外殼(22)一側(cè)與進(jìn)水口(24)法蘭連接，所述外殼(22)內(nèi)部設(shè)置有空腔(23)，外殼(22)內(nèi)表面通過(guò)螺釘與不銹鋼隔離板(26)固定連接，所述外殼(22)外表面設(shè)置有限位槽(27)，所述不銹鋼隔離板(26)一端設(shè)置有通孔(29)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)光源裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)(30)還包括信號(hào)發(fā)射器(31)、信號(hào)接收器(32)、處理器(33)、光電傳感器(34)和調(diào)光器(35)，所述信號(hào)發(fā)射器(31)一端通過(guò)電線與處理器(33)電性連接，所述信號(hào)接收器(32)一端通過(guò)電線與處理器(33)電性連接，所述光電傳感器(34)一端通過(guò)電線與處理器(33)電性連接，所述調(diào)光器(35)一端通過(guò)電線與處理器(33)電性連接。
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