[實用新型]一種光刻機光源裝置

有效

• 申請號: 201921322791.4
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210954608U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 唐陽明
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種光刻機光源裝置。所述一種光刻機光源裝置包括不銹鋼架和控制系統，不銹鋼架內表面通過螺釘與冷卻裝置固定連接，冷卻裝置一側與光源單元板組合架間隙配合。本實用新型提供的一種光刻機光源裝置通過采用控制系統，光電傳感器能夠通過光電效應來將光轉換為電流，用電流大小來表示光強，光電傳感器將數據轉換為電信號傳遞到處理器，處理器通過信號發射器將電磁波發射出去，外界控制設備接收電磁波，并且發射電磁波回到信號接收器，信號接收器接收信號傳導到處理器，處理器控制調光器來控制LED燈的亮度，解決了現有的光源裝置，使用者無法了解光源裝置內部所放出的光強，并且無法控制光強的問題。

技術領域

本實用新型涉及曝光機領域，尤其涉及一種光刻機光源裝置。

背景技術

光刻是制作半導體的關鍵制程，決定了線路的精密度。光刻設備是一種投影系統，由紫外光源、光學鏡片、對準系統等部件組裝而成。在半導體制作過程中，光刻設備會投射光束，穿過印著圖案的掩模及光學鏡片，將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上；通過蝕刻曝光或未受曝光的部份來形成溝槽，然后再進行沉積、蝕刻、摻雜，架構出不同材質的線路；此制程被一再重復，就能將數以十億計的MOSFET或其他晶體管，建構在硅晶圓上，形成一般所稱的集成電路。

現有的光源裝置，使用者無法了解光源裝置內部所放出的光強，并且無法控制光強的問題；現有的光源裝置發出的光的光斑分散且光斑之間相互覆蓋，導致能量分散，影響光刻精度的問題；現有的光源裝置散熱性能差，由于長時間工作LED燈會產生大量的熱，如果不能及時散熱會導致光刻機內部著火，存在使用隱患的問題。

因此，有必要提供一種光刻機光源裝置解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種光刻機光源裝置，解決了現有的光源裝置，使用者無法了解光源裝置內部所放出的光強，并且無法控制光強的問題；現有的光源裝置發出的光的光斑分散且光斑之間相互覆蓋，導致能量分散，影響光刻精度的問題；現有的光源裝置散熱性能差，由于長時間工作LED燈會產生大量的熱，如果不能及時散熱會導致光刻機內部著火，存在使用隱患的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種光刻機光源裝置，包括不銹鋼架和控制系統，所述不銹鋼架內表面通過螺釘與冷卻裝置固定連接，所述冷卻裝置一側與光源單元板組合架間隙配合，所述不銹鋼架一側通過螺釘與光源單元板組合架固定連接，所述光源單元板組合架一側與透鏡間隙配合，所述透鏡一側通過螺釘與不銹鋼架固定連接，所述透鏡內表面通過螺釘與光電傳感器固定連接，所述透鏡外表面通過螺釘與處理器固定連接。

優選的，所述光源單元板組合架還包括光源單元板A、光源單元板B、光源單元板C、光源單元板D和固定塊，所述光源單元板A一端設置有固定塊，所述光源單元板B一端設置有固定塊，所述光源單元板C一端設置有固定塊，所述光源單元板D一端設置有固定塊，所述固定塊通過螺釘與光源單元板組合架固定連接。

優選的，所述光源單元板A還包括固定槽、LED燈和調光器，所述光源單元板A一側設置有固定槽，所述固定槽內表面與LED燈法蘭連接，所述LED 燈一側通過電線與調光器電性連接。

優選的，所述冷卻裝置還包括分層內隔板、冷卻板一、冷卻板二、循環水通道板A和冷卻板三，所述冷卻板一一端通過螺釘與冷卻板二固定連接，所述冷卻板一另一端通過螺釘與分層內隔板固定連接，所述冷卻板二一端通過螺釘與冷卻板三固定連接，所述冷卻板一一側通過螺釘與循環水通道板A固定連接，所述冷卻板二一側通過螺釘與循環水通道板A固定連接。