[實用新型]陶瓷盤等分旋轉機構

有效

• 申請號: 201921314094.4
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210040150U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請（專利權）人: 常州科沛達清洗技術股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種陶瓷盤等分旋轉機構，包括工作臺及設置在工作臺上的等分旋轉組件，等分旋轉組件包括升降動力件、升降臺、旋轉動力件及定位臺，定位臺固定在工作臺上，定位臺中心具有通孔，升降動力件與升降臺連接，升降臺內具有氣管，升降臺上表面具有氣孔，氣管與氣孔連通，升降動力件可驅動升降臺升降以穿過定位臺的通孔，旋轉動力件與升降臺連接，旋轉動力件可驅動升降臺軸向旋轉。該陶瓷盤等分旋轉機構通過等分旋轉組件與定位組件相配合，定位準確可靠，可以實現陶瓷盤等分旋轉，從而可以均勻地在陶瓷盤上貼合晶圓片，保證貼片的質量。

技術領域

本實用新型涉及電子產品加工技術領域，尤其涉及一種陶瓷盤等分旋轉機構。

背景技術

中國半導體市場裝機量需求增長迅猛，勞動力短缺、人工成本不斷攀升，導致廠商對自動化設備需求提升，對降低生產成本、提高產品良率有著顯著的效果。

現有的晶圓片(藍寶石片、硅片等)在進行加工時需要進行多道工序，如清洗、涂膠、貼片、鏟片、存放等。晶圓片貼片時，由于陶瓷盤上需要等分地貼合多張晶圓片，現有技術中的等分機構結構復雜，定位不精確，從而影響了貼片質量。

實用新型內容

為了克服現有技術的缺點，本實用新型提供一種定位準確、加工效率高、能夠提高貼片質量的陶瓷盤等分旋轉機構。

本實用新型是通過如下技術方案實現的：一種陶瓷盤等分旋轉機構，包括工作臺及設置在工作臺上的等分旋轉組件，所述等分旋轉組件包括升降動力件、升降臺、旋轉動力件及定位臺，所述定位臺固定在工作臺上，定位臺中心具有通孔，所述升降動力件與升降臺連接，所述升降臺內具有氣管，升降臺上表面具有氣孔，升降動力件可驅動升降臺升降以穿過定位臺的通孔，所述旋轉動力件與升降臺連接，旋轉動力件可驅動升降臺軸向旋轉。

為了便于驅動升降臺運動，所述升降臺頂端固定有轉板，所述旋轉動力件與轉板連接；所述升降臺底端設置有連接座，所述升降動力件通過連接座與升降臺連接，升降臺與連接座之間設置有軸承。

為了對定位臺上的陶瓷盤精確定位，所述定位臺周圍設置有用于定位陶瓷盤的定位組件；作為優選，所述定位組件包括推送動力件及推板，所述推送動力件可驅動推板平移，所述推板側部開設有與陶瓷盤邊緣相對應的弧形槽。

本實用新型的有益效果是：該陶瓷盤等分旋轉機構通過等分旋轉組件與定位組件相配合，定位準確可靠，可以實現陶瓷盤等分旋轉，從而可以均勻地在陶瓷盤上貼合晶圓片，保證貼片的質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的陶瓷盤等分旋轉機構的立體結構示意圖；

圖2為本實用新型的等分旋轉組件去除定位臺后的結構示意圖；

圖3為本實用新型的定位組件的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易被本領域人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

如圖1、圖2所示的一種陶瓷盤等分旋轉機構，包括工作臺1及設置在工作臺1上的等分旋轉組件，所述等分旋轉組件包括升降動力件3、升降臺4、旋轉動力件6及定位臺2，所述定位臺2固定在工作臺1上，定位臺2中心具有通孔，所述升降動力件3與升降臺4連接，所述升降臺4內具有氣管9，升降臺4頂端上表面具有氣孔41，氣管9與氣孔41連通，升降動力件3可驅動升降臺4升降以穿過定位臺2的通孔，所述旋轉動力件6與升降臺4連接，旋轉動力件6可驅動升降臺4軸向旋轉。

如圖2所示的等分旋轉組件，所述升降臺4頂端固定有轉板8，所述旋轉動力件6與轉板8連接；所述升降臺4底端設置有連接座7，所述升降動力件3通過連接座7與升降臺4連接，升降臺4與連接座7之間設置有軸承。